[發(fā)明專(zhuān)利]成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110347231.X
• 申請(qǐng)日: 2021-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113471393A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巖崎達(dá)哉;安川英宏;鍋島健;松本行生;緒方俊宏;渡部新;菅原洋紀(jì)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佳能特機(jī)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/56
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/56;H01L21/677;H01L21/67;C23C14/56;C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

本發(fā)明提供一種成膜裝置、成膜方法、及電子器件的制造方法。在多個(gè)群集型單元連結(jié)的結(jié)構(gòu)的成膜裝置中，提供一種用于實(shí)現(xiàn)高精度的膜厚控制和高生產(chǎn)性的技術(shù)。成膜裝置具備：具有對(duì)基板成膜出第一層的第一成膜室的群集型的第一單元；具有與第一層重疊地成膜出第二層的第二成膜室的群集型的第二單元；配設(shè)在第一單元與第二單元之間并將相鄰的群集型的單元連結(jié)的連結(jié)室；至少一部分設(shè)置于連結(jié)室包含的通路室內(nèi)，測(cè)定在通路室收容的基板上成膜的膜的膜厚的膜厚測(cè)定部；以及基于通過(guò)膜厚測(cè)定部測(cè)定的膜厚，控制第一成膜室的成膜條件及第二成膜室的成膜條件中的至少一方的控制部。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及成膜裝置、成膜方法、及電子器件的制造方法。

背景技術(shù)

近年來(lái)，有機(jī)EL顯示裝置(有機(jī)EL顯示器)作為平板顯示裝置而備受關(guān)注。有機(jī)EL顯示裝置為自發(fā)光顯示器，響應(yīng)速度、視場(chǎng)角、薄型化等特性比液晶顯示器優(yōu)異，在以監(jiān)視器、電視機(jī)、智能手機(jī)為代表的各種便攜終端等中取代既存的液晶面板顯示器而逐漸普及。而且，也將其應(yīng)用領(lǐng)域擴(kuò)展于汽車(chē)用顯示器等。

構(gòu)成有機(jī)EL顯示裝置的有機(jī)EL元件(有機(jī)發(fā)光元件，OLED：Organic LightEmitting Diode)具有形成有功能層的基本結(jié)構(gòu)，該功能層具有在兩個(gè)面對(duì)的電極(陰極電極、陽(yáng)極電極)之間產(chǎn)生發(fā)光的作為有機(jī)物層的發(fā)光層。有機(jī)EL元件的功能層及電極層例如可以通過(guò)將構(gòu)成各個(gè)層的材料在真空成膜裝置內(nèi)經(jīng)由掩模向基板成膜來(lái)制造。

有機(jī)EL元件通過(guò)將基板向各成膜室順次傳送并在基板的被處理面上順次形成電極及各種功能層來(lái)制造。專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)了在將多個(gè)群集型單元連結(jié)的結(jié)構(gòu)的制造裝置中，在各個(gè)單元設(shè)置多個(gè)成膜室和檢查室，將在某成膜室成膜的基板向檢查室傳送以測(cè)定膜厚的結(jié)構(gòu)。并且，公開(kāi)了使用膜厚測(cè)定結(jié)果進(jìn)行發(fā)光特性模擬，基于模擬結(jié)果，在同一成膜室或其他的成膜室進(jìn)行色度補(bǔ)正層的成膜的結(jié)構(gòu)。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)】

【專(zhuān)利文獻(xiàn)】

【專(zhuān)利文獻(xiàn)1】日本特開(kāi)2005-322612號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

【發(fā)明要解決的課題】

在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)中，由于在群集型單元內(nèi)設(shè)置有檢查室，因此不得不使用配置在單元中央的基板傳送機(jī)器人進(jìn)行基板的向檢查室的送入送出。在該情況下，僅為了檢查室內(nèi)的檢查而使用基板傳送機(jī)器人，與在群集型單元內(nèi)未設(shè)置檢查室的情況相比基板傳送機(jī)器人的運(yùn)轉(zhuǎn)率上升，存在保養(yǎng)費(fèi)用增大的課題。而且，由于在檢查用中占有在成膜用中能夠使用的一個(gè)室，因此通過(guò)一個(gè)單元能夠成膜的層數(shù)(與沒(méi)有檢查室的情況相比)減少。其結(jié)果是，例如，以往通過(guò)三個(gè)單元能夠制造，但是產(chǎn)生需要四個(gè)以上的單元等弊病。該弊病除了可能導(dǎo)致單元間的交接工時(shí)的增加引起的生產(chǎn)能力的下降之外，還可能導(dǎo)致制造裝置整體的大型化(設(shè)置面積的增大)。

本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況而作出的發(fā)明，其目的在于提供一種在多個(gè)群集型單元連結(jié)的結(jié)構(gòu)的成膜裝置中用于實(shí)現(xiàn)高精度的膜厚控制和高生產(chǎn)性的技術(shù)。

【用于解決課題的方案】

本公開(kāi)包括成膜裝置，其特征在于，

所述成膜裝置具備：

群集型的第一單元，所述第一單元具有第一傳送機(jī)構(gòu)以及配設(shè)在所述第一傳送機(jī)構(gòu)的周?chē)野▽?duì)基板形成第一膜的第一成膜室的多個(gè)成膜室；

群集型的第二單元，所述第二單元具有第二傳送機(jī)構(gòu)以及配設(shè)在所述第二傳送機(jī)構(gòu)的周?chē)野▽?duì)所述基板形成與所述第一膜重疊的第二膜的第二成膜室的多個(gè)成膜室；

連結(jié)室，所述連結(jié)室配設(shè)于從所述第一單元至所述第二單元的所述基板的傳送路徑，將兩個(gè)群集型的單元連結(jié)；及

第一測(cè)定部，所述第一測(cè)定部的至少一部分設(shè)置于所述連結(jié)室，測(cè)定成膜于所述基板的膜的厚度。

【發(fā)明效果】