[發明專利]位置對準裝置、圖案形成裝置及物品的制造方法在審
| 申請號： | 202110346461.4 | 申請日： | 2021-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN113495428A | 公開（公告）日： | 2021-10-12 |
| 發明（設計）人： | 山口直樹 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293 | 代理人： | 遲軍;齊文文 |
| 地址： | 日本東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 位置 對準 裝置 圖案 形成 物品 制造 方法 | ||
1.一種位置對準裝置，其特征在于，具備：
基板保持部，其將基板保持于第一面；
基板調溫部，其經由所述基板保持部來對所述基板進行調溫；
驅動部，其使所述基板保持部移動；以及
控制部，其控制所述驅動部，
所述基板調溫部在同與所述第一面不同的、所述基板保持部的第二面接觸的狀態下對所述基板進行調溫。
2.根據權利要求1所述的位置對準裝置，其特征在于，
所述控制部控制所述驅動部，使得所述基板保持部在與所述第一面垂直的方向，在所述基板保持部載置于所述基板調溫部上的第一狀態與所述基板保持部不載置于所述基板調溫部上的第二狀態之間移動。
3.根據權利要求2所述的位置對準裝置，其特征在于，
所述控制部控制所述驅動部，使得在所述第二狀態下所述基板保持部繞所述垂直的方向旋轉。
4.根據權利要求1所述的位置對準裝置，其特征在于，
所述基板保持部被分割為多個基板保持部，
所述控制部控制所述驅動部，使得所述多個基板保持部中的部分基板保持部在與所述第一面垂直的方向，在所述基板載置于所述多個基板保持部上并且所述多個基板保持部載置于所述基板調溫部上的第三狀態與所述基板載置于所述部分基板保持部上并且所述部分基板保持部不載置于所述基板調溫部上的第四狀態之間移動。
5.根據權利要求4所述的位置對準裝置，其特征在于，
所述控制部控制所述驅動部，使得在所述第四狀態下所述部分基板保持部繞所述垂直的方向旋轉。
6.根據權利要求4所述的位置對準裝置，其特征在于，
所述部分基板保持部的厚度與其余的基板保持部的厚度不同。
7.根據權利要求2所述的位置對準裝置，其特征在于，
所述控制部控制所述驅動部，使得在所述第一狀態下所述基板保持部以及所述基板調溫部在與所述第一面平行的方向移動。
8.根據權利要求1所述的位置對準裝置，其特征在于，
在所述基板保持部設置有用于測量所述基板的溫度的溫度測量部。
9.一種圖案形成裝置，用于在基板上形成圖案，其特征在于，
具備對所述基板進行位置對準的、根據權利要求1至8中的任一項所述的位置對準裝置。
10.一種物品的制造方法，其特征在于，包括：
使用根據權利要求9所述的圖案形成裝置在所述基板上形成圖案的工序；以及
對形成了圖案的所述基板進行加工來獲得物品的工序。
11.一種位置對準方法，其特征在于，包括：
在將基板保持于第一面的基板保持部不載置于對所述基板進行調溫的基板調溫部上的狀態下，使該基板保持部繞與所述第一面垂直的方向旋轉的工序；
使所述基板保持部在所述垂直的方向移動使得所述基板保持部載置于所述基板調溫部上的工序；以及
在所述基板保持部載置于所述基板調溫部上的狀態下使所述基板保持部以及所述基板調溫部在與所述第一面平行的方向移動的工序。
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