[發(fā)明專利]一種高質(zhì)量單晶碎料處理方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110345953.1 | 申請日： | 2021-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN113070274A | 公開（公告）日： | 2021-07-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚翠云;王藝澄 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇美科太陽能科技有限公司;包頭美科硅能源有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/12;B03C1/00;B07B1/00 |
| 代理公司： | 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 212200 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 質(zhì)量 單晶碎料 處理 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種高質(zhì)量單晶碎料處理方法，單晶碎料中含有非硅雜質(zhì)、金屬顆粒雜質(zhì)、表面氧化、空氣中粉塵吸附、碎末料，具體包括以下步驟：一：使用篩分設(shè)備進(jìn)行篩分，將單晶碎料篩分出兩種尺寸，分別為3?8mm的單晶碎料，3mm以下碎末料；二：使用磁選機(jī)磁選3?8mm尺寸單晶碎料；三：使用王水浸泡3?8mm尺寸單晶碎料12小時以上；四：將步驟三中的3?8mm尺寸單晶碎料用純水中和漂洗至中性，然后使用氫氟酸和硝酸的混合液清洗，再超純水漂洗，超聲清洗，熱分烘干；五：人工分選；該方法有效去除單晶碎料混有的雜質(zhì)，提升單晶循環(huán)料的清洗質(zhì)量，使得此類硅料的表金屬含量達(dá)到電子級硅料表金屬含量要求，可用于單晶拉棒原料使用，增加經(jīng)濟(jì)效益，使其達(dá)到變廢為寶的目的。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種高質(zhì)量單晶碎料處理方法，應(yīng)用于單晶硅料處理工序，用于清洗單晶工序產(chǎn)生的可循環(huán)使用碎料的方法。
背景技術(shù)
單晶工序生產(chǎn)加工過程中，因?qū)嶋H使用要求，需將硅料破碎成線性尺寸小于等于60mm以內(nèi)，現(xiàn)有生產(chǎn)技術(shù)在破碎過程中會產(chǎn)生大量尺寸小于等于8mm單晶碎料，現(xiàn)有處理方法為將此部分碎料使用氫氟酸：硝酸體積比占1:16清洗，單晶拉棒反饋各項(xiàng)數(shù)據(jù)均低于同期水平，該處理方法無法滿足硅料使用需求，目前單晶碎料作為銷售處理。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，針對以上現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)，提出一種高質(zhì)量單晶碎料處理方法，該方法可以有效去除單晶碎料混有的各類雜質(zhì)，提升單晶循環(huán)料的清洗質(zhì)量，使得此類硅料的表金屬含量達(dá)到電子級硅料表金屬含量要求，可用于單晶拉棒原料使用，在原先報廢銷售處理的情況下增加經(jīng)濟(jì)效益，使其達(dá)到變廢為寶的目的。
本發(fā)明解決以上技術(shù)問題的技術(shù)方案是：
一種高質(zhì)量單晶碎料處理方法，處理方法具體包括以下步驟：
步驟一：使用篩分設(shè)備進(jìn)行篩分出目標(biāo)直徑不大于8mm的碎料，然后將單晶碎料篩分出兩種尺寸，分別為3-8mm的單晶碎料，3mm以下碎末料；
步驟二：使用磁選機(jī)磁選3-8mm尺寸單晶碎料，去除磁性類金屬雜質(zhì)；
步驟三：使用王水浸泡3-8mm尺寸單晶碎料12小時以上，去除金屬類雜質(zhì)；
步驟四：將步驟三中的3-8mm尺寸單晶碎料用純水中和漂洗至中性，然后使用氫氟酸和硝酸的混合液清洗，清洗時間為1分鐘，再超純水漂洗，超聲清洗，熱分烘干，去除表面氧化，表面粉塵吸附，其中：
按體積比計(jì)氫氟酸：硝酸=1:8-10；
步驟五：人工分選，分選去除非硅雜質(zhì)。
本發(fā)明進(jìn)一步限定的技術(shù)方案為：前述高質(zhì)量單晶碎料處理方法中，步驟一中所述篩分設(shè)備使用3mm孔板。
前述高質(zhì)量單晶碎料處理方法中，步驟二中所述磁選機(jī)的磁棒吸力達(dá)到12000高斯。
前述高質(zhì)量單晶碎料處理方法中，步驟四中純水的電阻率15MΩ，超純水的電阻率18MΩ。
前述高質(zhì)量單晶碎料處理方法中，步驟四中氫氟酸采用電子級、47%濃度的氫氟酸；硝酸采用電子級、69%濃度的硝酸。
前述高質(zhì)量單晶碎料處理方法中，步驟四中超聲清洗時頻率為40khz。
本發(fā)明的有益效果是：
本發(fā)明通過此清洗方法的改進(jìn)，可以有效去除此類循環(huán)料、碎雜料單晶碎料混有的各類雜質(zhì)，提升單晶循環(huán)料的清洗質(zhì)量提高品質(zhì)，使得此類硅料的表金屬含量達(dá)到電子級硅料表金屬含量要求，表金屬檢測數(shù)據(jù)為Fe\Cr\Ni\Cu\Zn\Na總和在30ppbw以內(nèi)，可用于單晶拉棒原料使用，在原先報廢銷售處理的情況下增加公司的經(jīng)濟(jì)效益，使其達(dá)到變廢為寶的目的。
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