[發(fā)明專利]一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法及設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110340837.0
• 申請(qǐng)日: 2021-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN112794639B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王衛(wèi)勇;高志維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 藤倉烽火光電材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C03B37/018
• 分類號(hào): C03B37/018;C03B37/014
• 代理公司: 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 費(fèi)雅倩

1.一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其特征在于，其步驟包括：

分別確定沉積開始前多個(gè)排氣閥（10）的開度值，根據(jù)多個(gè)所述開度值擬合形成多個(gè)所述排氣閥（10）在沉積時(shí)開度值隨位置變化的理論的調(diào)節(jié)曲線；

在沉積過程中監(jiān)測(cè)疏松體的外徑尺寸，若監(jiān)測(cè)到所述疏松體的外徑尺寸每增加預(yù)設(shè)厚度，則將理論的所述調(diào)節(jié)曲線的對(duì)應(yīng)段沿其所處坐標(biāo)的縱坐標(biāo)方向向下移動(dòng)第一預(yù)設(shè)距離，若監(jiān)測(cè)到所述疏松體的外徑尺寸增加的厚度小于所述預(yù)設(shè)厚度，則保持理論的所述調(diào)節(jié)曲線的對(duì)應(yīng)段的形態(tài)不變；

根據(jù)所述調(diào)節(jié)曲線的實(shí)際形態(tài)分別實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)各個(gè)所述排氣閥（10）的開度值。

2.如權(quán)利要求1所述的一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其特征在于，所述調(diào)控方法還包括：

在沉積過程中監(jiān)測(cè)所述疏松體對(duì)應(yīng)位置的實(shí)際沉積密度，若監(jiān)測(cè)到所述實(shí)際沉積密度每大于理論沉積密度的預(yù)設(shè)百分比時(shí)，則將所述調(diào)節(jié)曲線的實(shí)際形態(tài)對(duì)應(yīng)所述疏松體對(duì)應(yīng)位置的對(duì)應(yīng)段沿其所處坐標(biāo)的縱坐標(biāo)方向向上移動(dòng)第二預(yù)設(shè)距離；

若監(jiān)測(cè)到所述實(shí)際沉積密度每小于所述理論沉積密度的預(yù)設(shè)百分比時(shí)，則將所述調(diào)節(jié)曲線的實(shí)際形態(tài)對(duì)應(yīng)所述疏松體對(duì)應(yīng)位置的對(duì)應(yīng)段沿其所處坐標(biāo)的縱坐標(biāo)方向向下移動(dòng)所述第二預(yù)設(shè)距離；

若監(jiān)測(cè)到所述實(shí)際沉積密度與理論沉積密度之間的差值不大于所述理論沉積密度的預(yù)設(shè)百分比時(shí)，則保持所述調(diào)節(jié)曲線的實(shí)際形態(tài)不變。

3.如權(quán)利要求1所述的一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其特征在于，所述在沉積過程中監(jiān)測(cè)所述疏松體對(duì)應(yīng)位置的實(shí)際沉積密度，具體包括：

利用外徑測(cè)量?jī)x（21）分別監(jiān)測(cè)所述疏松體位于噴嘴（50）兩側(cè)對(duì)應(yīng)位置的外徑尺寸D1和D2；

利用質(zhì)量測(cè)試儀監(jiān)測(cè)預(yù)設(shè)時(shí)間段內(nèi)所述疏松體增加的質(zhì)量△m，并獲取所述疏松體的移動(dòng)速度v；

根據(jù)所述D1、D2、△m和v計(jì)算得到所述疏松體對(duì)應(yīng)位置的實(shí)際沉積密度。

4.如權(quán)利要求1所述的一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其特征在于：所述預(yù)設(shè)厚度為沉積前所述疏松體與沉積罩內(nèi)壁之間的距離s0同理論沉積結(jié)束后所述疏松體與沉積罩內(nèi)壁之間的距離s2的差值的5%，所述第一預(yù)設(shè)距離為處于對(duì)應(yīng)位置的所述排氣閥（10）的開度值的1%。

5.如權(quán)利要求2所述的一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其特征在于：所述預(yù)設(shè)百分比為2%，所述第二預(yù)設(shè)距離為處于對(duì)應(yīng)位置的所述排氣閥（10）的開度值的5%。

6.如權(quán)利要求5所述的一種棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其特征在于：所述調(diào)節(jié)曲線的實(shí)際形態(tài)沿其所處坐標(biāo)的縱坐標(biāo)方向的調(diào)節(jié)范圍為理論的所述調(diào)節(jié)曲線沿其所處坐標(biāo)的縱坐標(biāo)取值的85%~115%。

7.一種棒外氣相沉積的設(shè)備，其特征在于，該設(shè)備用于實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1所述的棒外氣相沉積的調(diào)控方法，其包括：

排氣單元（1），其包括多個(gè)并列間隔設(shè)置的排氣閥（10），所述排氣閥（10）用于與疏松體同步沿水平方向左右移動(dòng)；

監(jiān)測(cè)單元（2），其用于監(jiān)測(cè)多個(gè)所述排氣閥（10）的位置參數(shù)，還用于監(jiān)測(cè)所述疏松體的外徑尺寸；

調(diào)控單元（3），其與所述監(jiān)測(cè)單元（2）和多個(gè)所述排氣閥（10）均相連，所述調(diào)控單元（3）用于根據(jù)所述位置參數(shù)分別確定沉積開始前多個(gè)所述排氣閥（10）的開度值，并根據(jù)多個(gè)所述開度值擬合形成多個(gè)所述排氣閥（10）在沉積時(shí)開度值隨位置變化的理論的調(diào)節(jié)曲線，所述調(diào)控單元（3）還被配置為：若所述監(jiān)測(cè)單元（2）監(jiān)測(cè)到所述疏松體的外徑尺寸每增加預(yù)設(shè)厚度，則所述調(diào)控單元（3）用于將理論的所述調(diào)節(jié)曲線的對(duì)應(yīng)段沿其所處坐標(biāo)的縱坐標(biāo)方向向下移動(dòng)第一預(yù)設(shè)距離，若所述監(jiān)測(cè)單元（2）監(jiān)測(cè)到所述疏松體的外徑尺寸增加的厚度小于所述預(yù)設(shè)厚度，則所述調(diào)控單元（3）控制理論的所述調(diào)節(jié)曲線的對(duì)應(yīng)段的形態(tài)不變。