[發(fā)明專利]一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110339688.6
• 申請日: 2021-03-30
• 公開（公告）號: CN112938439A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張明德;湯家云;劉慶峰;陳培峰;羅梁
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州國興技術(shù)有限公司
• 主分類號: B65G47/64
• 分類號: B65G47/64
• 代理公司: 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 32531
• 代理人: 王燕鳳

本發(fā)明公開了一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)，設(shè)有至少兩個(gè)等離子處理腔體、送料區(qū)和轉(zhuǎn)接區(qū)，臺車推入或拉出等離子處理腔體；輸送腔體內(nèi)設(shè)有抬升或下降臺車的升降機(jī)。等離子處理單槽臺車的輸送系統(tǒng)利用升降機(jī)、滾珠滑軌和輸送滾輪臺的配合，解決現(xiàn)階段等離子處理全自動(dòng)輸送系統(tǒng)中存在的由于水平輸送和垂直輸送之間輸送機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的輸送干涉問題，同時(shí)可以讓臺車和升降臺之間能夠?qū)崿F(xiàn)自由分離，在臺車處于等待期間，升降臺可以繼續(xù)上升或下降，縮短基板處理時(shí)臺車的等待時(shí)間，提高等離子處理系統(tǒng)整體的處理效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子處理技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

當(dāng)前業(yè)界普遍使用的等離子體處理設(shè)備為單腔多片處理系統(tǒng)，需要人工干預(yù)上下料，我們了解等離子處理基板的上板程序是等離子處理流程中重要程序，而且有著嚴(yán)格的工藝要求。在進(jìn)行上板工藝處理時(shí)，因?yàn)樵O(shè)備的限制，往往需要人力將每一塊基板定位安裝到臺車上，然后將上了基板的臺車人工送至等離子處理系統(tǒng)中進(jìn)行加工處理。這種單腔體處理系統(tǒng)，需要工作人員比較多，基本要需要一個(gè)員工負(fù)責(zé)一臺臺車的上板工作，還需要一個(gè)員工負(fù)責(zé)接送等離子處理腔體內(nèi)的基板，需要支付的人工費(fèi)用比較多，工作效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)，能夠配合現(xiàn)有的單槽臺車上下料系統(tǒng)使用，實(shí)現(xiàn)等離子處理基板的全程輸料的自動(dòng)化操作。

本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)，設(shè)有至少兩個(gè)等離子處理腔體，每個(gè)等離子處理腔體的前端對應(yīng)設(shè)有上下兩層輸送腔體組成的送料區(qū)，每個(gè)輸送腔體內(nèi)可容置至少一輛臺車，所述兩個(gè)送料區(qū)之間設(shè)有供臺車轉(zhuǎn)接的轉(zhuǎn)接區(qū)，所述轉(zhuǎn)接區(qū)同樣由上下兩層輸送腔體組成，所述等離子處理腔體設(shè)置在送料區(qū)的上層輸送腔體后方，由上層輸送腔體內(nèi)的臺車推入或拉出等離子處理腔體；所述上下兩層輸送腔體內(nèi)設(shè)有抬升或下降臺車的升降機(jī)，所述多個(gè)上層輸送腔體部分的兩側(cè)設(shè)有連接的輸送臺車滾珠滑軌，所述多個(gè)下層輸送腔體的底部設(shè)有連接的輸送臺車輸送滾輪臺。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述升降機(jī)上升到上層輸送腔體時(shí)位于兩側(cè)滾珠滑軌的中間，所述升降下降到下層輸送腔體時(shí)，輸送滾輪臺內(nèi)設(shè)有供升降機(jī)容置的腔體。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述臺車通過滑軌設(shè)置于轉(zhuǎn)接板上，轉(zhuǎn)接板的兩側(cè)通過滑動(dòng)卡銷卡入兩側(cè)的滾珠滑軌滑動(dòng)。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述滾珠滑軌的上方設(shè)有傳動(dòng)定位銷，傳動(dòng)定位銷固定在沿滑軌方向傳動(dòng)的皮帶傳動(dòng)裝置上，通過傳動(dòng)定位銷卡入轉(zhuǎn)接板兩側(cè)的定位銷孔連接轉(zhuǎn)接板，并帶動(dòng)轉(zhuǎn)接板沿滾珠滑軌方向滑動(dòng)。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的等離子處理單槽臺車的輸送系統(tǒng)利用升降機(jī)、滾珠滑軌和輸送滾輪臺的配合，解決現(xiàn)階段等離子處理全自動(dòng)輸送系統(tǒng)中存在的由于水平輸送和垂直輸送之間輸送機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的輸送干涉問題，同時(shí)可以讓臺車和升降臺之間能夠?qū)崿F(xiàn)自由分離，在臺車處于等待期間，升降臺可以繼續(xù)上升或下降，縮短基板處理時(shí)臺車的等待時(shí)間，提高等離子處理系統(tǒng)整體的處理效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的側(cè)視圖。

圖中標(biāo)示：1-等離子處理腔體；2-輸送腔體；3-送料區(qū)；4-臺車；5-轉(zhuǎn)接區(qū)；6-升降機(jī)；7-滾珠滑軌；8-輸送滾輪臺；9-轉(zhuǎn)接板；10-傳動(dòng)定位銷；11-皮帶傳動(dòng)裝置。

具體實(shí)施方式

為了加深對本發(fā)明的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述，該實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。