[發明專利]一種不銹鋼雙極板及其制備方法

有效

• 申請號: 202110334823.8
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN113097520B
• 公開（公告）日: 2022-11-01
• 發明（設計）人: 鄭威;趙俊亮;張志寬;孫小衛
• 申請（專利權）人: 深圳撲浪創新科技有限公司
• 主分類號: H01M8/0206
• 分類號: H01M8/0206;H01M8/0208;H01M8/0228;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.一種不銹鋼雙極板，其特征在于，所述不銹鋼雙極板包括不銹鋼基板和依次沉積的Cr膜、CrN膜和TiCN膜；

所述Cr膜的厚度為0.4-0.6μm；

所述CrN膜的厚度為0.8-1.1μm，以原子百分含量計包括：Cr 65-75%，N 25-35%；

所述TiCN膜的厚度為1.8-2.2μm，以原子百分含量計包括：Ti 45-55%，N 30-40%，C 10-20%；

所述Cr膜、CrN膜和TiCN膜的總厚度為3-3.4μm。

2.如權利要求1所述的不銹鋼雙極板的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

（1）對不銹鋼雙極板樣品依次進行第一清洗、拋光、第二清洗和干燥，得到不銹鋼雙極板基板；

（2）將步驟（1）得到的不銹鋼雙極板基板進行等離子體處理和鍍膜，得到所述不銹鋼雙極板。

3.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述第一清洗為依次采用除蠟清洗劑和除油清洗劑進行清洗。

4.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述拋光的方式包括電解拋光。

5.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述第二清洗的方式為超聲清洗。

6.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（1）所述第二清洗中的清洗劑包括乙醇。

7.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述等離子體處理在保護氣氛下進行。

8.如權利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述保護氣氛的氣壓為10-30Pa。

9.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述等離子體處理的時間為30-40min。

10.如權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述鍍膜包括依次進行的鍍Cr膜、CrN膜和TiCN膜。

11.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述鍍Cr膜在氣壓為0.4-0.6Pa的惰性氣氛下進行。

12.如權利要求11所述的制備方法，其特征在于，所述鍍Cr膜中惰性氣體的流量為250-350sccm。

13.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述鍍Cr膜的溫度為150-200℃。

14.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述鍍Cr膜的時間為10-15min。

15.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述鍍CrN膜在惰性氣體和氮氣的混合氣氛下進行。

16.如權利要求15所述的制備方法，其特征在于，所述鍍CrN膜中惰性氣體的流量為150-250sccm。

17.如權利要求15所述的制備方法，其特征在于，所述鍍CrN膜中氮氣的流量為130-170sccm。

18.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述鍍CrN膜的時間為30-45min。

19.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述鍍TiCN膜在惰性氣體、乙炔和氮氣的混合氣氛下進行。

20.如權利要求19所述的制備方法，其特征在于，所述鍍TiCN膜中惰性氣體的流量為150-250sccm。