[發明專利]一種單晶爐熱場加熱裝置及其加熱方法有效
| 申請號: | 202110334151.0 | 申請日: | 2021-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN113122911B | 公開(公告)日: | 2022-02-18 |
| 發明(設計)人: | 程旭兵;周波 | 申請(專利權)人: | 浙江晶陽機電股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/14 | 分類號: | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 徐昶 |
| 地址: | 314000 浙江省嘉*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐熱場 加熱 裝置 及其 方法 | ||
1.一種單晶爐熱場加熱裝置,加熱裝置位于單晶爐(1)內,其特征在于,所述單晶爐(1)內設有支撐架(4),支撐架(4)上設有底座(6)和調節件(5),調節件(5)控制底座(6)位于支撐架(4)上上下移動,底座(6)上設有基準盤(7),底座(6)上設有陣列分布的調節螺桿(10),調節螺桿(10)用于調節基準盤(7)的水平度,支撐架(4)上設有加熱件(8),加熱件(8)上可拆卸設有填充件(9),填充件(9)用于向石英罩和坩堝四周填充沙子;
所述加熱件(8)包括發熱件,發熱件上設有對稱分布的第二連接塊(83),第二連接塊(83)的兩端分別設有第一支撐環(84);
所述填充件(9)包括支撐件(91),支撐件(91)的下方轉動設有陣列分布的截留件(93),支撐件(91)上設有提拉件(92);
所述支撐件(91)包括錐形套(911)和支撐外殼(916),錐形套(911)的下方設有第二支撐環(912);
所述錐形套(911)與支撐外殼(916)之間形成放置沙子的放置區(94),第二支撐環(912)與支撐外殼(916)之間形成流通沙子的流通區(95),所述支撐外殼(916)的下方設有陣列分布的第三連接塊(9161);
所述支撐外殼(916)外套裝有第三支撐環(918),第三支撐環(918)的下方設有配合槽(9181),填充件(9)通過配合槽(9181)套裝在第一支撐環(84)上;
所述截留件(93)包括截留主體(931),截留主體(931)之間形成環形結構位于流通區(95)的下方進行截留;
所述截留主體(931)上設有連接柱(932),截留主體(931)的一側設有第四連接塊(933),第四連接塊(933)上設有固定軸(934),截留件(93)通過固定軸(934)位于轉動連接孔(9163)內轉動;
所述提拉件(92)包括陣列分布的連接繩(921),連接繩(921)的一端固定設有提拉繩(922),另一端固定在連接柱(932)內;
所述填充件(9)在重力的作用下,截留件(93)對流通區(95)進行截留,避免放置區(94)內的沙子流出,將配合槽(9181)套裝在第一支撐環(84)上后,截留件(93)在重力和沙子的壓力作用下發生轉動,沙子從流通區(95)流出。
2.根據權利要求1所述的一種單晶爐熱場加熱裝置,其特征在于,所述單晶爐(1)包括方形框體(11),方形框體(11)的一側轉動設有門體(2),另一側設有鎖合件(3),門體(2)包括門主體(21),門主體(21)的一側與方形框體(11)緊固連接,另一側設有對稱分布的卡口(22)。
3.根據權利要求2所述的一種單晶爐熱場加熱裝置,其特征在于,所述鎖合件(3)包括轉動件(31)和鎖合單元(32),轉動件(31)包括與方形框體(11)轉動連接的第一轉動軸(311),第一轉動軸(311)上垂直設有第一螺紋桿(312),鎖合單元(32)上設有第一連接桿(321),第一連接桿(321)的一端設有與第一螺紋桿(312)配合的第一螺紋孔(323),另一端設有第一轉動手柄(322),第一連接桿(321)上設有擠壓塊(324)。
4.根據權利要求3所述的一種單晶爐熱場加熱裝置,其特征在于,所述支撐架(4)包括支撐盤(41),支撐盤(41)上設有對稱分布的第二螺紋桿(42),支撐盤(41)上設有第一貫穿孔(43)和第二貫穿孔(46),支撐盤(41)的下方設有第一連接塊(44),第一連接塊(44)上設有第三貫穿孔(45)。
5.根據權利要求4所述的一種單晶爐熱場加熱裝置,其特征在于,所述調節件(5)包括第二轉動軸(51)和第三轉動軸(54),第二轉動軸(51)位于第二貫穿孔(46)內轉動,第二轉動軸(51)的一端設有第二轉動手柄(53),另一端設有第一錐齒輪(52),第三轉動軸(54)位于第三貫穿孔(45)內轉動,第三轉動軸(54)的一端設有與第一錐齒輪嚙合傳達的第二錐齒輪(55),另一端設有齒輪(56)。
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