[發明專利]氣體檢測裝置在審
| 申請號： | 202110333530.8 | 申請日： | 2021-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN113466164A | 公開（公告）日： | 2021-10-01 |
| 發明（設計）人： | 荒谷克彥 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | G01N21/3504 | 分類號： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 楊楷;毛立群 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 檢測 裝置 | ||
1.一種氣體檢測裝置，其特征在于，具備：
光源，照射紅外線；
第1腔室，配置在從所述光源照射出的紅外線的光路上，供紅外線通過，并供包含吸收紅外線中第1波段的紅外線的第1氣體的樣氣通過；
第2腔室，配置在所述光路上，供紅外線通過，并填充有吸收紅外線中與所述第1波段部分重疊的第2波段的紅外線的第2氣體；
受光量檢測部，對依次通過了所述第1腔室及所述第2腔室的紅外線進行受光，并檢測其受光量；
壓力檢測部，檢測存在于所述第2腔室內的氣體的壓力；
運算部，基于所述受光量運算所述樣氣中的所述第1氣體的濃度，
所述運算部基于所述壓力校正所述第1氣體的濃度。
2.如權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，
具備存儲部，存儲示出所述壓力與所述樣氣中包含的所述第2氣體的濃度的關系的校準曲線，
所述運算部基于所述校準曲線校正所述第1氣體的濃度。
3.如權利要求1或2所述的氣體檢測裝置，其特征在于，
所述第2腔室具有：分隔部，將該第2腔室內分隔為2個空間；以及連通部，使所述2個空間連通，
所述2個空間中的一方的空間供紅外線通過，在另一方的空間配置有所述壓力檢測部。
4.如權利要求1～3的任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述第2腔室內的沿著所述光路的長度為5mm以上50mm以下。
5.如權利要求1～4的任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述第2腔室內的所述第2氣體的濃度為20g/Nm3以上700g/Nm3以下。
6.如權利要求1～5的任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述壓力檢測部具有對所述壓力的變化電檢測的壓電轉換部。
7.如權利要求1～6的任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，具備調整所述第2腔室內的所述第2氣體的濃度的調整部。
8.如權利要求1～7的任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述第1氣體為二氧化硫氣體，所述第2氣體為甲烷氣體。
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