[發明專利]高頻非接觸式雙軸振動臺

有效

• 申請號: 202110332843.1
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN113049204B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 楊斌堂;張嘯;楊詣坤;喬鳳斌;金弘哲;胡佳成;肖杰
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01M7/06
• 分類號: G01M7/06;G01M7/02;H02K7/065;H02N15/00
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

1.一種高頻非接觸式雙軸振動臺，其特征在于，包括隔振基座(1)、激振裝置(2)、升降裝置(3)以及功能桿機構(4)；

所述升降裝置(3)包括底部升降機構以及載物臺機構，所述激振裝置(2)、底部升降機構均安裝在所述隔振基座(1)上；

所述載物臺機構磁力懸浮于所述底部升降機構的上方并通過所述功能桿機構(4)連接所述激振裝置(2)，其中，所述激振裝置(2)能夠驅使所述載物臺機構在所述底部升降機構的上方沿第一方向和/或第二方向運動，所述第一方向垂直于所述第二方向；

所述底部升降機構包括第一永磁體(38)，所述載物臺機構包括第二永磁體(39)、電磁線圈(310)以及光學載物平臺(311)；

所述第二永磁體(39)、電磁線圈(310)均安裝在所述光學載物平臺(311)的下面并磁性懸浮于所述第一永磁體(38)的上方，所述光學載物平臺(311)的上面為承載面；

所述隔振基座(1)包括上層隔振基座(12)以及下層隔振基座(11)，所述上層隔振基座(12)安裝在所述下層隔振基座(11)上，所述上層隔振基座(12)、下層隔振基座(11)均采用大理石；

所述激振裝置(2)包括兩個激振機構，所述功能桿機構(4)包括兩個直驅桿組件，其中，一個所述激振機構通過一個直驅桿組件連接所述載物臺機構實現第一方向上的運動功能，另一個所述激振機構通過另一個直驅桿組件連接所述載物臺機構實現第二方向上的運動功能；

所述底部升降機構包括安裝底板(31)、升降臺底座(33)、剪叉桿件(35)以及上支撐板(37)，所述安裝底板(31)安裝在上層隔振基座(12)上，所述剪叉桿件(35)的下端通過升降臺底座(33)安裝在所述安裝底板(31)上，所述第一永磁體(38)通過所述上支撐板(37)安裝在所述剪叉桿件(35)的上端；

所述直驅桿組件包括導軌(41)、滑塊(42)、滑塊安裝座(43)、直驅桿(45)以及安裝基座(48)；

所述直驅桿(45)的一端通過所述安裝基座(48)安裝在所述激振裝置(2)上，所述直驅桿(45)的另一端通過所述滑塊安裝座(43)連接所述滑塊(42)，所述載物臺機構所具有的光學載物平臺(311)上安裝有導軌(41)，所述導軌(41)能夠沿第一方向或第二方向與所述滑塊(42)滑動配合。

2.根據權利要求1所述的高頻非接觸式雙軸振動臺，其特征在于，所述底部升降機構還包括升降調整轉輪(36)，所述升降調整轉輪(36)采用絲杠螺母結構并安裝在所述剪叉桿件(35)上，通過旋擰所述升降調整轉輪(36)能夠實現所述剪叉桿件(35)高度的調整。

3.根據權利要求1所述的高頻非接觸式雙軸振動臺，其特征在于，所述第二永磁體(39)的直徑小于第一永磁體(38)的直徑；

通過控制所述電磁線圈(310)通電電流能夠輔助調整所述載物臺機構與底部升降機構之間的磁力。

4.根據權利要求1所述的高頻非接觸式雙軸振動臺，其特征在于，所述第二永磁體(39)、電磁線圈(310)均粘接在所述光學載物平臺(311)上。

5.根據權利要求1所述的高頻非接觸式雙軸振動臺，其特征在于，所述直驅桿(45)采用一體成型的管結構，沿所述直驅桿(45)的內部腔室的長度方向上設置有加強筋(451)。

6.根據權利要求1所述的高頻非接觸式雙軸振動臺，其特征在于，所述上層隔振基座(12)可拆卸的安裝在所述下層隔振基座(11)上。