[發明專利]一種并聯復橋組合杠桿式大行程三自由度精密微定位平臺

在審

• 申請號: 202110332625.8
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN112967749A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 孫鳳;郝巖松;李強;徐方超;金俊杰;張曉友;張明;佟玲
• 申請（專利權）人: 沈陽工業大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 沈陽智龍專利事務所(普通合伙) 21115
• 代理人: 宋鐵軍

1.一種并聯復橋組合杠桿式大行程三自由度精密微定位平臺，其特征在于：包括定平臺(5)，所述定平臺(5)上周向設置有三個復橋組合杠桿(3)，所述復橋組合杠桿(3)上通過雙軸柔性鉸鏈(2)安裝有動平臺(1)，所述復橋組合杠桿(3)設有復橋位移放大機構(7)，且復橋位移放大機構(7)內設有壓電陶瓷驅動器(4)。

2.根據權利要求1所述的并聯復橋組合杠桿式大行程三自由度精密微定位平臺，其特征在于：所述復橋組合杠桿(3)包括L型下支撐桿、上支撐杠桿和連接鉸鏈，所述連接鉸鏈連接L型下支撐桿和上支撐杠桿；所述復橋位移放大機構(7)設置在L型下支撐桿、上支撐杠桿和連接鉸鏈之間；

所述連接鉸鏈設置在上支撐杠桿的一端下側壁，所述雙軸柔性鉸鏈(2)設置在上支撐杠桿的另一端上側壁。

3.根據權利要求2所述的并聯復橋組合杠桿式大行程三自由度精密微定位平臺，其特征在于：所述復橋位移放大機構(7)包括

內凸塊(8)，一對所述內凸塊(8)間設通過過盈配合連接壓電陶瓷驅動器(4)；

雙層長臂柔性鉸鏈(11)，所述雙層長臂柔性鉸鏈(11)連接一對所述的內凸塊(8)；所述雙層長臂柔性鉸鏈(11)中的下層長臂柔性鉸鏈安裝在L型下支撐桿上，所述雙層長臂柔性鉸鏈(11)中的上層長臂柔性鉸鏈通過直臂柔性鉸鏈(6)安裝于上支撐杠桿。

4.根據權利要求3所述的并聯復橋組合杠桿式大行程三自由度精密微定位平臺，其特征在于：所述雙層長臂柔性鉸鏈(11)為八條長臂柔性鉸鏈。

5.根據權利要求1所述的并聯復橋組合杠桿式大行程三自由度精密微定位平臺，其特征在于：所述定平臺(5)和復橋組合杠桿(3)通過定平臺連接塊(10)相連接；

所述雙軸柔性鉸鏈(2)與動平臺(1)間設有動平臺連接塊(9)。