[發明專利]加工裝置

在審

• 申請號: 202110331766.8
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN113496919A
• 公開（公告）日: 2021-10-12
• 發明（設計）人: 中村勝
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01R24/76
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

本發明提供加工裝置，能夠在加工裝置的附近容易地使用電子設備。加工裝置包含：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；加工單元，其對保持在卡盤工作臺上的被加工物實施加工；以及板，其將包含卡盤工作臺和加工單元在內的構成要素包圍。在板上配設有電源插座(30)，從而能夠使用包含檢查裝置、個人計算機、電風扇、吸塵器在內的電子設備。

技術領域

本發明涉及加工裝置，該加工裝置包含：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；加工單元，其對保持在卡盤工作臺上的被加工物實施加工；以及板，其將包含卡盤工作臺和加工單元在內的結構要素包圍。

背景技術

晶片在正面上由交叉的多條分割預定線劃分而形成有IC、LSI等多個器件，在通過磨削裝置對晶片的背面進行磨削并加工成所希望的厚度之后，通過切割裝置、激光加工裝置分割成一個個的器件芯片，分割得到的各器件芯片用于移動電話、個人計算機等電子設備(例如參照專利文獻1、2)。

專利文獻1：日本特開2018-83252號公報

專利文獻2：日本特開2018-192546號公報

但是，在為了檢測包含磨削裝置、切割裝置、激光加工裝置在內的加工裝置的振動而使用例如示波器的情況下，存在如下的問題：必須將延長線纜的插頭插入到設置于工廠的電源插座中并布線至加工裝置，很麻煩。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供能夠在加工裝置的附近容易地使用電子設備的加工裝置。

根據本發明，提供一種加工裝置，其具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；加工單元，其對保持在該卡盤工作臺上的被加工物實施加工；板，其將包含該卡盤工作臺和該加工單元在內的構成要素包圍；以及電源插座，其配設在該板上，包含檢查裝置、個人計算機、電風扇、吸塵器在內的電子設備能夠與該電源插座連接而進行使用。

優選該電源插座配設在該板的前方、側方以及后方。優選該電源插座的電壓為100V、200V、240V中的任意電壓。

根據本發明，在板上配設有電源插座，能夠使用包含檢查裝置、個人計算機、電風扇、吸塵器在內的電子設備，因此能夠在加工裝置的附近容易地使用電子設備。

附圖說明

圖1是本發明實施方式的加工裝置的立體圖。

圖2是圖1所示的加工裝置的框圖。

標號說明

2：加工裝置；4：保持單元；6：加工單元；8：板；30：電源插座；30a：前方插座；30b：側方插座；30c：后方插座；30d：上方插座。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發明實施方式的加工裝置進行說明。

參照圖1，整體用標號2表示的加工裝置具有：保持單元4，其對被加工物進行保持；加工單元6，其對保持單元4所保持的被加工物實施加工；以及板8，其將包含保持單元4和加工單元6在內的構成要素包圍。

保持單元4包含配設成在圖1中箭頭X所示的X軸方向上移動自如的圓形的卡盤工作臺10。卡盤工作臺10通過電動機(未圖示)而旋轉，并且通過X軸進給單元(未圖示)在X軸方向上移動。另外，圖1中箭頭Y所示的Y軸方向是與X軸方向垂直的方向，圖1中箭頭Z所示的Z軸方向是與X軸方向及Y軸方向垂直的上下方向。由X軸方向和Y軸方向限定的XY平面實質上是水平的。

卡盤工作臺10的上端部分由與吸引單元(未圖示)連接的多孔質部件形成。保持單元4利用吸引單元在卡盤工作臺10的上表面產生吸引力，從而對載置于卡盤工作臺10的上表面的晶片W等被加工物進行吸引保持。另外，圖1所示的晶片W粘貼在周緣固定于環狀框架F上的粘接帶T上。