[發(fā)明專利]一種微波等離子體去膠設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110331633.0
• 申請(qǐng)日: 2021-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN113070288B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬軍;邱晨光;張志勇;蔡晉輝;劉依婷;喬瓛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國計(jì)量大學(xué)
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02
• 代理公司: 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

本發(fā)明公開了一種微波等離子體去膠設(shè)備，包括微波裝置、去膠裝置、機(jī)架，進(jìn)氣法蘭、抽氣法蘭、真空計(jì)，所述微波裝置包括微波模塊、微波屏蔽罩、石英腔，所述去膠裝置包括主腔體、轉(zhuǎn)接裝置、高密金屬網(wǎng)組合件、加熱盤、腔門，腔門通過鉸鏈與主腔體相連，主腔體固定在機(jī)架上，微波模塊與微波屏蔽罩相連，石英腔位于微波屏蔽罩內(nèi)，通過法蘭固定在主腔體上表面，轉(zhuǎn)接裝置與石英腔通過法蘭相連，進(jìn)氣法蘭位于微波屏蔽罩上表面，抽氣法蘭位于主腔體下表面。將樣品放置于加熱盤上，關(guān)閉腔門，抽真空，充入氣體，進(jìn)行微波等離子體去膠，可根據(jù)樣品膠量的多少調(diào)節(jié)到達(dá)樣品表面的等離子體強(qiáng)度，低損傷、去膠效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓去膠技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種微波等離子體去膠設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件的制備包括薄膜沉積、光刻、刻蝕等步驟，其中去除光刻膠是其中較為重要的步驟。以往常用的化學(xué)去膠方法具有許多缺點(diǎn)，如會(huì)產(chǎn)生廢液，對(duì)環(huán)境造成污染等。等離子體去膠為干法去膠，能夠克服上述缺點(diǎn)，等離子去膠的原理是：利用產(chǎn)生的等離子態(tài)的氧原子和光刻膠中的碳?xì)湮镔|(zhì)發(fā)生反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣態(tài)物質(zhì)，如二氧化碳和水，從而達(dá)到去膠的目的。而目前已有的等離子去膠設(shè)備存在的問題有：等離子體強(qiáng)度難以有效控制，影響去膠效率且會(huì)對(duì)晶圓造成損傷。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)目前已有的光刻膠去除技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的是提供一種微波等離子體去膠設(shè)備，解決現(xiàn)有等離子去膠設(shè)備中等離子體強(qiáng)度難以控制的問題。

本發(fā)明的目的通過以下方式來實(shí)現(xiàn)：

一種微波等離子體去膠設(shè)備，包括微波裝置、去膠裝置、機(jī)架，進(jìn)氣法蘭、抽氣法蘭、真空計(jì)，所述微波裝置包括微波模塊、微波屏蔽罩、石英腔，所述去膠裝置包括主腔體、轉(zhuǎn)接裝置、高密金屬網(wǎng)組合件、加熱盤、腔門，腔門通過鉸鏈與主腔體相連，主腔體固定在機(jī)架上，微波模塊與微波屏蔽罩相連，石英腔位于微波屏蔽罩內(nèi)，通過法蘭固定在主腔體上表面，轉(zhuǎn)接裝置與石英腔通過法蘭相連，進(jìn)氣法蘭位于微波屏蔽罩上表面，抽氣法蘭位于主腔體下表面。

進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)接裝置由固定筒、活動(dòng)筒構(gòu)成，活動(dòng)筒與固定筒通過螺紋連接，其與加熱盤之間的距離可以通過螺紋調(diào)節(jié)。

進(jìn)一步的，固定筒的高度為主腔體上內(nèi)表面與加熱盤上表面距離的一半，活動(dòng)筒的高度小于固定筒的高度，保證調(diào)節(jié)位置可定位到。

進(jìn)一步的，所述高密金屬網(wǎng)組合件由環(huán)形壓套和高密金屬網(wǎng)構(gòu)成，如此便于安裝和拆卸高密金屬網(wǎng)。

進(jìn)一步的，所述安裝套環(huán)固定在活動(dòng)筒上，高密金屬網(wǎng)組合件通過螺釘固定在安裝套環(huán)上，高密金屬網(wǎng)可以減弱等離子體的強(qiáng)度，進(jìn)而降低等離子體對(duì)樣品的損傷。

進(jìn)一步的，所述加熱盤固定在主腔體底部，加熱盤內(nèi)部裝有環(huán)形電阻絲，環(huán)形電阻絲位于腔室外部，外接電源工作，以便對(duì)樣品均勻加熱，且外加熱方式可避免對(duì)等離子體造成污染。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣法蘭和抽氣法蘭端口均安裝有勻氣盤，以便充氣和抽氣時(shí)保持氣流均勻。

進(jìn)一步的，所述勻氣盤為均勻分布著小孔的圓盤結(jié)構(gòu)，以使氣體通入更加均勻。

進(jìn)一步的，所述微波模塊包括微波電源，微波波導(dǎo)以及諧振腔，微波波導(dǎo)連接著微波電源和諧振腔，諧振腔包圍著石英腔，保證微波能量導(dǎo)入石英腔。

進(jìn)一步的，所述抽氣法蘭上固定有真空計(jì)，以便測量主腔體內(nèi)的真空度，進(jìn)而控制抽氣壓力。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣法蘭外接裝有氧氣的鋼瓶，抽氣法蘭外接真空泵。