[發(fā)明專利]一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110331572.8
• 申請(qǐng)日: 2021-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112930020A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘富才;劉美燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河北眾航高能科技有限公司
• 主分類號(hào): H05H7/04
• 分類號(hào): H05H7/04;B23K15/00;B23K15/02
• 代理公司: 北京圣州專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11818
• 代理人: 劉巖

1.一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，包括上位機(jī)(1)、成像處理單元(2)、信號(hào)處理單元(3)、偏轉(zhuǎn)控制單元(4)和電子束焊接單元(5)，其特征在于：所述上位機(jī)(1)與成像處理單元(2)通信連接，成像處理單元(2)與信號(hào)處理單元(3)、偏轉(zhuǎn)控制單元(4)通信連接，電子束焊接單元(5)還包括電子槍(51)、真空室(52)、反射電子收集器(53)、工件(54)和工裝(55)，所述電子槍(51)設(shè)于真空室(52)外，反射電子收集器(53)設(shè)于真空室(52)的一端，反射電子收集器(53)與信號(hào)處理單元(3)通信連接，工件(54)安裝在工裝(55)上，并設(shè)于真空室(52)的另一端，電子槍(51)上安裝偏轉(zhuǎn)線圈(511)，偏轉(zhuǎn)線圈(511)與偏轉(zhuǎn)控制單元(4)通信連接。

所述偏轉(zhuǎn)控制單元(4)由儀表放大器IC1、運(yùn)算放大器IC2A、運(yùn)算放大器IC3、算放大器IC2B、輸出電壓BU1和輸入電壓BU2組成，儀表放大器IC1的2腳、3腳分別連接輸入電壓信號(hào)Z6、B6，儀表放大器IC1的6腳連接串聯(lián)的電位器R4、電阻R5與電阻R6，同時(shí)電阻R5連接繼電器K1，電阻R6連接繼電器K2，繼電器K1與繼電器K2連接電阻R10后，與運(yùn)算放大器IC2A的3腳連接，運(yùn)算放大器IC2A的1腳連接串聯(lián)的電位器R12與電阻R13，同時(shí)電阻R13連接運(yùn)算放大器IC3的2腳，運(yùn)算放大器IC3的6腳連接電阻R22與電阻R23，電阻R22連接電阻R34后，與MOS管T3B的G極連接，電阻R23連接電阻R35后，與MOS管T4B的G極連接，運(yùn)算放大器IC2A的2腳連接電阻R44后，與輸出電壓BU1的3腳連接，算放大器IC2B的6腳連接電阻R40、電阻R39后，與MOS管T4B、MOS管T3B的S極連接，算放大器IC2B的7腳連接電阻R45后，與輸入電壓BU2的3腳連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，其特征在于：所述儀表放大器IC1的型號(hào)為INA114AP。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，其特征在于：所述運(yùn)算放大器IC2A與運(yùn)算放大器IC2B的型號(hào)為T(mén)L072ACP。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，其特征在于：所述運(yùn)算放大器IC3的型號(hào)為AD845JN。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，其特征在于：所述偏轉(zhuǎn)線圈(511)由圈體(5111)、線板(5112)和線束(5113)組成，線板(5112)安裝于圈體(5111)的四端，線束(5113)設(shè)于線板(5112)之間，并盤(pán)繞于圈體(5111)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，其特征在于：所述反射電子收集器(53)由頂層銅板(531)和底層銅板(532)組成，頂層銅板(531)接地，底層銅板(532)接收反射電子，頂層銅板(531)與底層銅板(532)之間通過(guò)電阻、放電管連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束反射電子的成像系統(tǒng)，其特征在于：所述成像處理單元(2)由箱體(21)、電路板(22)和數(shù)據(jù)線(23)組成，電路板(22)安裝于箱體(21)內(nèi)，數(shù)據(jù)線(23)與電路板(22)連接。