[發明專利]用于檢驗至少一個測試物體的檢驗系統和方法

在審

• 申請號: 202110331242.9
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN113063808A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發明（設計）人: M·埃爾勒;M·克倫克爾
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司工業測量技術有限公司
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 盧江;呂傳奇

1.一種用于檢驗至少一個測試物體（10-x）的檢驗系統（1），該檢驗系統包括：

至少一個反射式x射線管（2-x），被配置為發射x射線輻射（4），

至少一個x射線檢測器（6），被配置為捕獲射線照片圖像（7），

其中，該至少一個反射式x射線管（2-x）和該至少一個x射線檢測器（6）以一種方式被配置和布置，以使得從該至少一個反射式x射線管（2-x）發射的x射線輻射（4）的僅高分辨率部分（4-x）用于對該至少一個測試物體的至少一個部分（18-x）進行射線照相。

2.根據權利要求1所述的檢驗系統（1），其特征在于，該檢驗系統（1）包括至少兩個反射式x射線管（2-x），其中，該至少兩個反射式x射線管（2-x）和該至少一個x射線檢測器（6）以一種方式被配置和布置，以使得從該至少兩個反射式x射線管（2-x）發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）被成像在該至少一個x射線檢測器（6）的分開部分上。

3.根據前述權利要求之一所述的檢驗系統（1），其特征在于，該檢驗系統（1）包括至少兩個反射式x射線管（2-x），其中，該至少兩個反射式x射線管（2-x）和該至少一個x射線檢測器（6）以一種方式被配置和布置，以使得從該至少兩個反射式x射線管（2-x）中的至少一些發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）被成像在該至少一個x射線檢測器（6）的不同側上。

4.根據前述權利要求之一所述的檢驗系統（1），其特征在于，該檢驗系統（1）包括至少一個x射線束衰減器元件（15），用于以預定方式衰減從該至少一個或至少兩個反射式x射線管（2-x）發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）中的至少一個的一部分。

5.根據權利要求2至4之一所述的檢驗系統（1），其特征在于，該至少兩個反射式x射線管（2-x）和該至少一個x射線檢測器（6）以一種方式被配置和布置，以使得從該至少兩個反射式x射線管（2-x）發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）能夠同時從不同方向穿過該至少一個測試物體（10-x）的至少部分重疊部分。

6.一種用于檢驗至少一個測試物體（10-x）的方法，該方法包括：

通過使用至少一個反射式x射線管（2-x）和至少一個x射線檢測器（6）的配置和布置來對該至少一個測試物體（10-x）的至少一個部分（18-x）進行射線照相，其中，僅使用從該至少一個反射式x射線管（2-x）發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）；以及用該至少一個x射線檢測器（6）捕獲該至少一個測試物體（10-x）的至少一個部分（18-x）的射線照片圖像（7）。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，通過以下方式來執行射線照相：使用至少兩個反射式x射線管（2-x）以及使用該至少兩個反射式x射線管（2-x）和該至少一個x射線檢測器（6）的配置和布置，其中，從該至少兩個反射式x射線管（2-x）發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）被成像在該至少一個x射線檢測器（6）的分開部分上。

8.根據權利要求6或7所述的方法，其特征在于，通過以下方式來執行射線照相：使用至少兩個反射式x射線管（2-x）以及使用該至少兩個反射式x射線管（2-x）和該至少一個x射線檢測器（6）的配置和布置，其中，從該至少兩個反射式x射線管（2-x）中的至少一些發射的x射線輻射（4）的高分辨率部分（4-x）被成像在該至少一個x射線檢測器（6）的不同側上。

9.根據權利要求6至8之一所述的方法，其特征在于，從不同方向同時對該至少一個測試物體（10-x）的至少一個部分進行射線照相。

10.根據權利要求6至9之一所述的方法，其特征在于，該至少一個測試物體（10-x）是電池（16-x）。