[發(fā)明專利]一種借助于五角棱鏡的K鏡檢測(cè)裝置及其裝調(diào)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110331154.9
• 申請(qǐng)日: 2021-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN113064286A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王超燕;陳欣揚(yáng);蔣森瑜;張金富;丁媛媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海天文臺(tái)
• 主分類號(hào): G02B27/62
• 分類號(hào): G02B27/62;G02B7/18;G02B7/182;G02B7/183
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 楊怡清

1.一種借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，包括：

位于第一光軸上并沿光路的走向依次設(shè)置的干涉儀、可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡、分束鏡以及第二平面反射鏡；

相機(jī)，其位于與第一光軸垂直且經(jīng)過所述分束鏡的第二光軸上；

第一平面反射鏡，位于所述可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡的正上方；

第一二維傾斜調(diào)整架，其用于放置所述可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡；

連接板，其與所述第一二維傾斜調(diào)整架和所述第一平面反射鏡均固定連接；以及

機(jī)械旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其與連接板連接，其具有位于第一光軸上的中心孔；

所述反射棱鏡是截面為等腰三角形的柱體的外表面反射棱鏡；在所述可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡被切換為反射棱鏡時(shí)，反射棱鏡和第一平面反射鏡共同構(gòu)成了K鏡單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，所述第一平面反射鏡固定在一水平設(shè)置的第二二維傾斜調(diào)整架上，所述第一平面反射鏡通過第二二維傾斜調(diào)整架來與所述連接板固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，第一二維傾斜架和第二二維傾斜架的調(diào)整方向均是繞y軸旋轉(zhuǎn)和繞x軸旋轉(zhuǎn)，y軸為垂直于第一光軸的豎直方向，x軸是垂直于第一光軸的水平方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，所述第二二維傾斜架固定在一個(gè)上下平移裝置上，且上下平移裝置與所述連接板固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，反射棱鏡的表面鍍有金屬膜或?qū)拵Ы橘|(zhì)膜，且反射棱鏡的頂角大于90°小于180°。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，所述金屬膜是鋁膜、銀膜或金膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，所述反射棱鏡的頂角是110°，兩個(gè)底角是35°。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，所述機(jī)械旋轉(zhuǎn)臺(tái)安裝于一機(jī)械升高架上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)裝置，其特征在于，所述干涉儀為FISBA干涉儀或ZYGO干涉儀，所述相機(jī)為科學(xué)級(jí)的相機(jī)，且所述分束鏡是R：T為45:55的薄膜分束器。

10.一種借助于五角棱鏡的K鏡裝調(diào)方法，其特征在于，包括：

步驟S1：搭建根據(jù)權(quán)利要求1-9之一所述的借助于五角棱鏡的K鏡檢測(cè)裝置，其中的可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡被移除，以確保干涉儀、分束鏡以及第二平面反射鏡位于第一光軸上；

步驟S2：將所述可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡切換為五角棱鏡，利用五角棱鏡的前表面的自準(zhǔn)直反射，調(diào)節(jié)第一二維傾斜調(diào)整架使五角棱鏡的前表面與第一光軸垂直，接著調(diào)整第一平面反射鏡的姿態(tài)，使入射到反射棱鏡的反射面的光束自準(zhǔn)直反射回干涉儀中；

步驟S3：將所述可切換或者移除的反射棱鏡和五角棱鏡切換為反射棱鏡，調(diào)節(jié)第一平面反射鏡，使經(jīng)過反射棱鏡的第二個(gè)反射面的出射光束與機(jī)械旋轉(zhuǎn)臺(tái)的中心孔重合；

步驟S4：利用機(jī)械旋轉(zhuǎn)臺(tái)對(duì)反射棱鏡和第一平面反射鏡所共同構(gòu)成的K鏡單元進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)的過程中，通過相機(jī)記錄光斑在相機(jī)靶面上的位置信息。