[發(fā)明專利]非晶硅靶材承載裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110330638.1
• 申請(qǐng)日: 2021-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113097107A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈夢(mèng)超;曹育紅;符黎明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/203;H01L31/18
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.非晶硅靶材承載裝置，其特征在于，包括：用于夾持板狀非晶硅靶材的上夾板和下夾板，用于支承上夾板和下夾板的頂板，以及與頂板連接、且用于驅(qū)動(dòng)頂板移動(dòng)的移動(dòng)裝置；

所述頂板平置，頂板設(shè)有第一鏤空區(qū)域，頂板底面還螺紋連接多個(gè)豎置螺絲，該多個(gè)螺絲位于第一鏤空區(qū)域外圍；移動(dòng)裝置位于第一鏤空區(qū)域外圍；

所述上夾板平置在頂板正下方，上夾板設(shè)有第二鏤空區(qū)域，第二鏤空區(qū)域位于第一鏤空區(qū)域正下方，且第一鏤空區(qū)域在上夾板上的投影不超出第二鏤空區(qū)域；上夾板被上述多個(gè)螺絲貫穿，且該多個(gè)螺絲位于第二鏤空區(qū)域外圍；

所述下夾板平置在上夾板正下方，下夾板設(shè)有第三鏤空區(qū)域，第三鏤空區(qū)域位于第二鏤空區(qū)域正下方，且第二鏤空區(qū)域在下夾板上的投影不超出第三鏤空區(qū)域；下夾板也被上述多個(gè)螺絲貫穿，且該多個(gè)螺絲位于第三鏤空區(qū)域外圍；

上述多個(gè)螺絲分別套裝有彈簧，且該多個(gè)螺絲上的彈簧都被壓縮在上夾板和頂板之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅靶材承載裝置，其特征在于，上述多個(gè)螺絲還分別套裝有墊片，且該多個(gè)螺絲上的墊片都設(shè)在上夾板和下夾板之間；且各墊片的厚度都小于板狀非晶硅靶材的厚度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的非晶硅靶材承載裝置，其特征在于，所述上夾板的邊沿設(shè)有上把手。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的非晶硅靶材承載裝置，其特征在于，所述下夾板的邊沿設(shè)有下把手。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅靶材承載裝置，其特征在于，所述頂板、上夾板和下夾板都為矩形。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的非晶硅靶材承載裝置，所述第一鏤空區(qū)域、第二鏤空區(qū)域和第三鏤空區(qū)域?yàn)榫匦巍?/p>

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的非晶硅靶材承載裝置，所述頂板底面螺紋連接的螺絲數(shù)量為四個(gè)，該四個(gè)螺絲分別位于頂板、上夾板和下夾板的四角。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅靶材承載裝置，所述上夾板的厚度為0.05～2mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅靶材承載裝置，所述下夾板的厚度為0.05～2mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非晶硅靶材承載裝置，所述墊片的厚度為0.05～2mm。