[發明專利]遠距離多ATE半導體測試設備同步方法、系統及測試方法

在審

• 申請號: 202110328086.0
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN113078978A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 陳永;鄔剛
• 申請（專利權）人: 杭州加速科技有限公司
• 主分類號: H04J3/06
• 分類號: H04J3/06;H04L7/033
• 代理公司: 深圳智趣知識產權代理事務所(普通合伙) 44486
• 代理人: 李興生

1.一種遠距離多ATE半導體測試設備同步方法，其特征在于，包括以下步驟：

時鐘發送裝置通過高速光纖發送嵌入了時鐘信號的時鐘編碼信號給多個測試設備；

所述測試設備接收所述時鐘編碼并信號恢復出時鐘，結合時鐘調整系統調整所述測試設備的時鐘至與所述時鐘發送裝置的時鐘一致；

所述時鐘發送裝置通過所述高速光纖發送嵌入了觸發信號的觸發編碼信號給多個測試設備；

所述測試設備接收所述觸發編碼信號，并通過所述高速光纖將所述觸發編碼信號返還給所述時鐘發送裝置；

所述時鐘發送裝置接收所述觸發編碼信號，并根據接收所述觸發編碼信號的時間差，調整向所述測試設備發送觸發編碼信號的時間從而達到多個所述測試設備同時接收到所述觸發編碼信號的目的。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述時鐘調整系統包括外部晶振和模擬鎖相環；

“所述測試設備接收所述時鐘編碼并信號恢復出時鐘，結合時鐘調整系統調整所述測試設備的時鐘至與所述時鐘發送裝置的時鐘一致”具體包括：

所述測試設備接收所述時鐘編碼信號；

所述模擬鎖相環以所述外部晶振的時鐘為參考時鐘，生成第一時鐘并發送給所述時鐘數據恢復單元；

所述時鐘數據恢復單元以所述第一時鐘為參考時鐘，將所述時鐘編碼信號恢復成第一恢復時鐘，并發送給所述模擬鎖相環；

所述模擬鎖相環切以所述第一恢復時鐘為參考時鐘，生成第二時鐘并發送給所述時鐘數據恢復單元；

所述時鐘數據恢復單元以所述第二時鐘為參考時鐘，將所述測試設備的時鐘頻率調整至與所述時鐘發送裝置的時鐘頻率一致。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述時鐘調整系統還包括相位調整單元；

在“所述時鐘數據恢復單元以所述第二時鐘為參考時鐘，將所述測試設備的時鐘頻率調整至與所述時鐘發送裝置的時鐘頻率一致”之后，還包括，

通過外接示波器顯示所述測試設備的時鐘相位，所述相位調整單元通過I2C與所述模擬鎖相環建立通訊，以預設精度逐步調整所述模擬鎖相環的時鐘相位，直至所述測試設備的時鐘相位與所述時鐘發送裝置的時鐘相位一致。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，“所述時鐘發送裝置接收所述觸發編碼信號，并根據接收所述觸發編碼信號的時間差，調整向所述測試設備發送觸發編碼信號的時間從而達到多個所述測試設備同時接收到所述觸發編碼信號的目的”具體包括：

所述時鐘發送裝置接收各個所述測試設備發送的所述觸發編碼信號，獲取所述時鐘發送裝置接收所述觸發編碼信號的時間，以接收所述觸發編碼信號時間最長的測試設備為基準，延遲所述時鐘發送裝置發送觸發編碼信號給其它測試設備的時間，直至多個所述測試設備同時接收到所述觸發編碼信號。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述時鐘發送裝置中設置有物理編碼子層；

通過所述物理編碼子層將所述時鐘信號嵌入到所述時鐘編碼信號；

通過所述物理編碼子層將所述觸發信號嵌入到所述觸發編碼信號。

6.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述預設精度為2ps，和/或所述高速光纖的帶寬為25Gbps。

7.一種遠距離多ATE半導體測試設備同步系統，適用于權利要求1-6任一項所述的遠距離多ATE半導體測試設備同步方法，其特征在于，包括時鐘發送裝置、高速光纖和多個測試設備，所述時鐘發送裝置通過高速光纖連接多個所述測試設備；

所述時鐘發送裝置用于通過高速光纖向多個測試設備發送時鐘編碼信號和觸發編碼信號，以及通過高速光纖接收觸發編碼信號并根據接收所述觸發編碼信號的時間調整觸發編碼信號的發送時間；

所述測試設備用于接收所述時鐘發送裝置發送的所述時鐘編碼信號和所述觸發編碼信號，根據所述時鐘編碼信號調整時鐘，以及將接收到的所述觸發編碼信號返還給所述時鐘發送裝置。