[發明專利]檢測設備及檢測方法

在審

• 申請號: 202110327411.1
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN113514399A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 陳魯;白園園;馬硯忠;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 高靜

1.一種檢測設備，其特征在于，包括：

發光裝置，用于產生泵浦光、第一檢測光和第二檢測光；

合光元件，用于使所述泵浦光和第二檢測光在到達待測物之前具有公共路徑，經過所述公共路徑的光束為組合光，所述組合光經所述待測物表面反射或散射形成第一光束，其中所述泵浦光用于改變所述待測物對第一檢測光的光學性質，所述組合光中心軸線的入射角為銳角，所述第一檢測光經所述待測物反射、散射或透射后形成第二光束；

位置探測器，用于探測所述第一光束，并根據所述第一光束在位置探測器感光面形成的光斑位置確定所述待測物表面的高度；

探測組件，用于探測所述第二光束，并根據所述第二光束的光強檢測所述待測物的結構信息。

2.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備：還包括：濾光組件，用于對所述第一光束進行濾光并減少所述第一光束中的泵浦光。

3.根據權利要求2所述的檢測設備，其特征在于，所述泵浦光和第二檢測光的波長不同；所述濾光組件為窄帶濾波器或者色散元件，所述窄帶濾波器用于透過一定波長的光且吸收其他波長的光，所述色散元件用于使不同波長的光分光；所述色散元件包括衍射光柵或分光棱鏡；

或者，所述泵浦光和第二檢測光的偏振方向垂直，所述濾光組件為偏振分束器，所述偏振分束器用于使偏振方向垂直的光束分束。

4.根據權利要求1至3任意一項所述的檢測設備，其特征在于，所述泵浦光為綠光；所述第二檢測光為紅光。

5.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，所述第一檢測光與所述泵浦光的入射方向不相同；所述第一光束和所述第二光束的出射方向不同。

6.根據權利要求1至3任意一項所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備還包括：第一透鏡組，用于收集所述組合光和第一檢測光，并使所述組合光和第一檢測光匯聚；

平行調節組件，用于使所述組合光和第一檢測光平行入射至所述第一透鏡組；

第二透鏡組，用于收集所述第一光束和第二光束，并對所述第一光束和第二光束進行準直。

7.根據權利要求6所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備還包括：第一反射組件，用于改變所述第一光束或第二光束的傳播方向。

8.根據權利要求6所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備：還包括：調焦裝置，用于根據所述待測物表面高度調節所述待測物和/或檢測設備，使所述組合光和第一檢測光匯聚至待測物表面；所述檢測設備還包括反饋系統，用于將所述位置探測器獲取待測物表面的高度反饋至所述調焦裝置；

所述調焦裝置包括第一調焦組件和第二調焦組件中一者或兩者組合；

所述第一調焦組件用于根據所述待測物表面高度移動所述待測物，使所述組合光和第一檢測光匯聚至待測物表面，且所述組合光在待測物表面形成的光斑與第一檢測光在待測物表面形成的光斑至少部分重合；

所述第二調焦組件用于根據所述待測物表面高度移動所述第一透鏡組和第二透鏡組，使所述組合光和第一檢測光匯聚至待測物表面，且所述組合光在待測物表面形成的光斑與第一檢測光在待測物表面形成的光斑至少部分重合。

9.根據權利要求6所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備：還包括：第三透鏡組，用于使所述第一光束匯聚至所述位置探測器；

所述檢測設備還包括濾光組件時，所述第三透鏡用于使經過所述濾光組件之后的第一光束匯聚至所述位置探測器。

10.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，所述第一檢測光與所述泵浦光的波長相同。

11.根據權利要求10所述的檢測設備，其特征在于，所述發光裝置包括：第一發光組件，用于產生第一初始光束；

第一分光組件，用于對所述第一初始光束進行分光，形成所述第一檢測光和泵浦光；

第二發光組件，用于產生所述第二檢測光，所述第二檢測光和所述泵浦光的波長不同。