[發(fā)明專利]一種適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備及其壓印方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110319438.6
• 申請(qǐng)日: 2021-03-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113031393A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 冀然
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00;B05B13/04
• 代理公司: 山東重諾律師事務(wù)所 37228
• 代理人: 王鵬里

1.一種適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于，包括：具有腔體的外殼，所述腔體內(nèi)設(shè)置有輸送裝置，所述輸送裝置具有環(huán)形的輸送帶，所述輸送帶上連接有可伸縮的承壓板，用于固定PET，所述承壓板上具有透光區(qū)，在承壓板下方與透光區(qū)對(duì)應(yīng)設(shè)置有紫外燈，在所述腔體內(nèi)，所述輸送裝置的外側(cè)分別設(shè)置有噴膠裝置、加熱裝置、壓印裝置以及卸料裝置，所述壓印裝置具有可升降的用于固定基片的臺(tái)盤(pán)以及加熱板，所述輸送帶轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可移動(dòng)所述承壓板使所述承壓板分別與所述噴膠裝置、加熱裝置、壓印裝置或卸料裝置相對(duì)，以通過(guò)噴膠裝置向PET上噴涂光刻膠，通過(guò)加熱裝置揮發(fā)PET上光刻膠的氣味，通過(guò)壓印裝置使PET與臺(tái)盤(pán)上的基片接觸進(jìn)行壓印并固化，通過(guò)卸料裝置對(duì)壓印的PET卸料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：所述輸送裝置包括呈矩形設(shè)置的轉(zhuǎn)軸、與轉(zhuǎn)軸連接的輥輪以及驅(qū)動(dòng)輥輪轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述輸送帶環(huán)繞所述輥輪，且與所述輥輪相接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：所述噴膠裝置包括X軸滑桿、與X軸滑桿連接的Y軸滑桿以及連接于所述Y軸滑桿的膠嘴，所述膠嘴通過(guò)膠管與膠瓶連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：所述加熱裝置為設(shè)置于所述外殼內(nèi)側(cè)壁上的電加熱板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：所述壓印裝置包括設(shè)置于所述外殼底部的升降桿，所述臺(tái)盤(pán)與升降桿連接，且所述加熱板位于所述臺(tái)盤(pán)內(nèi)部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：所述外殼上設(shè)置有自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)，所述卸料裝置可翻轉(zhuǎn)180°與所述自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)對(duì)應(yīng)，所述自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)上設(shè)置有感應(yīng)器，以在感應(yīng)器感應(yīng)所述卸料裝置與所述自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)對(duì)應(yīng)時(shí)，自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)打開(kāi)，取出壓印的PET。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：所述卸料裝置包括可轉(zhuǎn)動(dòng)的兩機(jī)械手臂，所述兩機(jī)械手臂的夾持端上分別連接有定位螺釘以及限位板，以根據(jù)PET的厚度，調(diào)節(jié)定位螺釘控制機(jī)械手臂夾持端的距離夾持PET。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于不規(guī)則模具的納米壓印設(shè)備，其特征在于：還包括控制器，所述控制器與所述輸送裝置、噴膠裝置、加熱裝置、壓印裝置、卸料裝置、可伸縮的承壓板、紫外燈以及加熱板電性連接。

9.一種壓印方法，采用權(quán)利要求1至8任一權(quán)利要求所述的納米壓印設(shè)備，其特征在于：包括以下步驟：

S1、固定PET及基片

將PET固定于承壓板的板面上，并將基片固定于臺(tái)盤(pán)的臺(tái)面上；

S2、噴涂光刻膠

輸送帶帶動(dòng)承壓板移動(dòng)，使承壓板與噴膠裝置對(duì)應(yīng)，根據(jù)設(shè)定的特定范圍通過(guò)噴膠裝置向PET上噴涂一定厚度的光刻膠；

S3、壓印固化

輸送帶帶動(dòng)承壓板移動(dòng)，使承壓板與壓印裝置上的臺(tái)盤(pán)平行，承壓板中間向下伸出使PET與基片接觸，臺(tái)盤(pán)向上移動(dòng)，與此同時(shí)承壓板中間向上同步移動(dòng)，使基片與PET完全貼合，打開(kāi)紫外燈或加熱板使光刻膠固化；

S4、分離卸料

壓印完成后，臺(tái)盤(pán)向下移動(dòng)使PET與基片完全分離，分離后臺(tái)盤(pán)復(fù)位，輸送帶帶動(dòng)承壓板移動(dòng)，并與卸料裝置對(duì)應(yīng)，卸料裝置卸料壓印的PET，完成壓印。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓印方法，其特征在于：所述步驟S3上一步設(shè)置有步驟S30，S30除味：輸送帶帶動(dòng)承壓板移動(dòng)，使承壓板與加熱裝置平行，加熱裝置啟動(dòng)加熱，使PET上的光刻膠內(nèi)的溶劑的揮發(fā)。