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[發(fā)明專利]一種適用于高功率束流的薄膜降能器在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202110319140.5 申請日: 2021-03-25
公開(公告)號: CN112911783A 公開(公告)日: 2021-06-04
發(fā)明(設(shè)計)人: 李智慧;陳偉 申請(專利權(quán))人: 四川大學(xué)
主分類號: H05H7/00 分類號: H05H7/00;H05H13/00
代理公司: 成都中弘信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51309 代理人: 金苗
地址: 610064 四*** 國省代碼: 四川;51
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 適用于 功率 薄膜 降能器
【權(quán)利要求書】:

1.一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:包括真空管(1),位于所述真空管(1)內(nèi)部、且內(nèi)部中空的銅基座(2),環(huán)繞安裝在所述銅基座(2)內(nèi)部的冷卻水裝置(3),設(shè)置在銅基座(2)內(nèi)部的薄膜(4),和設(shè)置在所述真空管(1)管壁上、支撐固定所述銅基座(2)的支撐底座(5),所述銅基座(2)與所述真空管(1)同軸設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述冷卻水裝置(3)包括環(huán)繞在所述銅基座(2)壁內(nèi)部的環(huán)繞水管(6)、和與所述環(huán)繞水管(6)連通的進(jìn)水管(7)和出水管(8),所述進(jìn)水管(7)和出水管(8)另一端穿過所述支撐底座(5)延伸至所述真空管(1)外。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述銅基座(2)中空的部分為“T”形中空結(jié)構(gòu)(9),所述“T”形中空結(jié)構(gòu)(9)包括上中空結(jié)構(gòu)和下中空結(jié)構(gòu),所述薄膜(4)設(shè)置在上中空結(jié)構(gòu)中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述薄膜(4)通過螺套壓蓋(10)固定安裝在所述銅基座(2)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于高功率束流的薄膜(4)降能器,其特征在于:所述螺套壓蓋(10)包括同軸連接的上蓋(11)和下蓋(12)、以及貫穿所述上蓋(11)和下蓋(12)中心的通孔(13)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述上蓋(11)半徑大于上中空結(jié)構(gòu)的半徑,所述下蓋(12)半徑與上中空結(jié)構(gòu)的半徑相同,所述通孔(13)半徑與下中空結(jié)構(gòu)半徑相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述螺套壓蓋(10)與所述薄膜(4)之間設(shè)置有墊片,所述墊片為環(huán)形結(jié)構(gòu),且其內(nèi)半徑小于或等于下中空結(jié)構(gòu)半徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述薄膜(4)為金剛石薄膜。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述支撐底座(5)由銅或銅合金制成。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于高功率束流的薄膜降能器,其特征在于:所述真空管(1)兩端連接有法蘭(14)。

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