[發明專利]真空箱門及真空箱

在審

• 申請號: 202110317623.1
• 申請日: 2021-03-25
• 公開（公告）號: CN114396747A
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 潘鈣;王國峰;楊忠武
• 申請（專利權）人: 青島惠科微電子有限公司;青島惠芯微電子有限公司;北海惠科半導體科技有限公司
• 主分類號: F25D11/00
• 分類號: F25D11/00;F25D23/02;F25D29/00
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

本發明公開了一種真空箱門及真空箱，真空箱門包括底座、連接片和插銷；所述底座開設有第一插銷孔，在所述連接片上開設有第二插銷孔，所述插銷穿過所述第一插銷孔和第二插銷孔后將所述底座與連接片連接起來，所述底座與連接片可繞所述插銷相對轉動；所述底座固定設置在真空箱的框架上，所述連接片設置在真空箱的門板上；其中，所述門鉸鏈裝置包括一可視化精度調節裝置，所述可視化精度調節裝置包括在所述底座上開設有帶內螺紋的第一插銷調節孔、與所述第一插銷調節孔適配螺接的第一插銷調節旋鈕、和可視化標記，所述第一插銷調節旋鈕與所述插銷垂直并抵頂設置；所述可視化標記可量化顯示所述第一插銷調節旋鈕旋入所述第一插銷調節孔之中的深度。

技術領域

本發明涉及真空箱的制備領域，尤其涉及一種真空箱門及真空箱。

背景技術

真空箱，是一種常見的干燥設備，常用于實驗室或生產車間，主要用于通過真空泵抽真空的方式來干燥置于真空箱中的相關物件、化學物質等；這種干燥方式，干燥速度快、干燥/效果好，且可以避免空氣中粉塵污染等優點。

為了使真空箱得到有效密封，在其框架(也可以說是腔體)和門板之間的接觸面上粘貼右密封膠條，密封膠條可以粘貼在框架上，也可以粘貼在門板上。在真空箱的門板手動合上后，由于密封膠條的伸縮性，門板對應的初始基準面一般低于密封膠條的原值，即有一定的密封下壓距離。最后通過真空泵抽吸腔體內部的空氣吸附門板，實現腔體的負壓，實現密封效果。

現有的真空箱的門板鉸鏈是固定焊接的，不能調節門板對應的初始基準面，長時間工作后就會因為磨損等原因，在門板關閉后其基準面未達到初始位置，導致真空吸附效果不好，漏真空；或者如果當密封膠條的厚度發生變化，原門板對應的初始基準面就會發生變化，此時出現門板關閉不嚴或者關閉不上等后果，也會導致漏真空。在解決這一問題時，基本上通過調整門鉸鏈來實現。然而，現有門鉸鏈調節也是技術人員根據個人經驗操作，具體調節到哪種精度或間隙距離，沒有一個可量化的裝置，這就造成不同人員操作，調整后的間隙距離也是不一樣的，甚至間隙漏氣問題一直得不到解決。

發明內容

基于上述問題，發明所要解決的問題在于提供一種可視化精度調節密封效果的真空箱門，及使用該真空箱門的真空箱。

本發明的技術方案一如下：

一種真空箱門，包括底座、連接片和插銷；所述底座開設有第一插銷孔，在所述連接片上開設有第二插銷孔，所述插銷穿過所述第一插銷孔和第二插銷孔后將所述底座與連接片連接起來，所述底座與連接片可繞所述插銷相對轉動；所述底座固定設置在真空箱的框架上，所述連接片設置在真空箱的門板上；

其中，所述門鉸鏈裝置包括一可視化精度調節裝置，所述可視化精度調節裝置包括在所述底座上開設有帶內螺紋的第一插銷調節孔、與所述第一插銷調節孔適配螺接的第一插銷調節旋鈕、和可視化標記，所述第一插銷調節旋鈕與所述插銷垂直并抵頂設置；所述可視化標記可量化顯示所述第一插銷調節旋鈕旋入所述第一插銷調節孔之中的深度。

一實施例，所述真空箱門中，所述可視化標記包括第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器檢測所述第一插銷調節旋鈕旋入所述第一插銷調節孔之中的深度；所述第一顯示屏數字化顯示所述第一傳感器檢測的深度。

一實施例，所述真空箱門中，所述可視化精度調節裝置還包括第一自動調節驅動結構，所述第一自動調節驅動結構驅動連接所述第一插銷調節旋鈕；所述第一自動調節驅動結構接收輸入的指令，并根據所述指令驅動所述第一插銷調節旋鈕在所述第一插銷調節孔中旋入預設距離；所述第一自動調節驅動結構內置于所述第一插銷調節孔中。

一實施例，所述真空箱門中，所述真空箱門包括鎖緊組件和門把手組件，所述鎖緊組件設置在真空箱的框架上，所述門把手組件設置在真空箱的門板上，所述鎖緊組件和門把手組件將所述真空箱的門板與所述框架緊固鎖合，使設置在所述門板和框架之間的密封膠條將所述門板與框架密封起來；其中：所述鎖緊組件包括鎖緊固定塊和鎖緊件；所述鎖緊固定塊固定安裝在所述框架上，而所述鎖緊件安裝在所述鎖緊固定塊上；