[發(fā)明專利]一種石英玻璃研磨液及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110315836.0 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113025210A | 公開（公告）日： | 2021-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王欣;吳駿軍;吳海平;吳嘉琪;皮耕尉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 宜山光電科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09G1/02 | 分類號(hào)： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 深圳紫晴專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 胡鳳林 |
| 地址： | 215200 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石英玻璃 研磨 及其 制備 方法 | ||
本發(fā)明提供一種石英玻璃研磨液及其制備方法，包括以下重量份的組分：研磨顆粒20～40；水40～80；懸浮液5～20；所述研磨顆粒包括以下重量份的組分：金剛石2～50；氧化鋁1；所述懸浮液包括以下重量份的組分：分散劑5～20；懸浮劑50～90；表面活性劑3～10。本方案提供的石英玻璃研磨液中同時(shí)加入兩種不同材質(zhì)的研磨顆粒，二者硬度不同，硬度大的金剛石顆粒有利于石英玻璃材料的有效去除，硬度略低的氧化鋁顆?？蓪?duì)金剛石加工造成的裂紋進(jìn)行修復(fù)，可同時(shí)滿足石英玻璃研磨去除率高、粗糙度小的理想研磨效果。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及研磨材料技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種石英玻璃研磨液及其制備方法。
背景技術(shù)
現(xiàn)代光學(xué)制造中，激光光學(xué)元件制造不同于傳統(tǒng)光學(xué)制造僅關(guān)注元件的面形精度、表面質(zhì)量及超光滑的表面粗糙度指標(biāo)。在激光系統(tǒng)中，光學(xué)元件要經(jīng)受高能或高功率激光輻照，抗激光損傷(Laser Damage)閾值成為重要指標(biāo)。正是由于光學(xué)元件抗激光損傷閾值低，激光裝置持續(xù)工作能力與可靠性尚不能滿足實(shí)際應(yīng)用要求。
石英玻璃由于具有寬的帶隙，是當(dāng)前大多數(shù)強(qiáng)激光系統(tǒng)中窗口、聚焦透鏡、衍射光柵等核心元件的首選材料。對(duì)于石英玻璃的加工工藝流程包括晶體生長、切片、研磨、拋光工藝，研磨工藝即對(duì)石英玻璃進(jìn)行減薄，通過研磨對(duì)石英玻璃表面進(jìn)行平坦化處理，去除表面殘留的切痕、裂紋等損傷層。相關(guān)技術(shù)中對(duì)石英玻璃進(jìn)行研磨通常需要借助于研磨液。石英玻璃的研磨方式為在石英玻璃與研磨盤之間加入含有大粒徑磨粒的研磨液，通過研磨液與石英玻璃之間的機(jī)械摩擦，研磨液中的大粒徑磨粒作用于石英玻璃表面，對(duì)石英玻璃表面的劃痕和凹凸不平的部分進(jìn)行去除，以獲得厚度均勻的表面。石英玻璃理想的研磨效果為去除率高、粗糙度小，而目前石英玻璃研磨液難以同時(shí)達(dá)到上述兩種效果。
所以，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，有必要設(shè)計(jì)一種石英玻璃研磨液及其制備方法，以解決上述問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)石英玻璃研磨加工過程中現(xiàn)有技術(shù)問題，提供一種用于石英玻璃研磨的研磨液，利用該研磨液在實(shí)現(xiàn)石英玻璃材料有效去除的同時(shí)可降低研磨后石英玻璃材料的粗糙度。
為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供的技術(shù)方案是：一種石英玻璃研磨液，其特征在于，包括以下重量份的組分：
研磨顆粒20-40水40-80懸浮液5-20；
所述研磨顆粒包括以下重量份的組分：
金剛石2-50氧化鋁1；
所述懸浮液包括以下重量份的組分：
分散劑5-20懸浮劑50-90表面活性劑3-10。
優(yōu)選的技術(shù)方案為：所述金剛石的顆粒粒徑是所述氧化鋁的顆粒粒徑的2～5倍。
優(yōu)選的技術(shù)方案為：所述分散劑選用聚乙二醇。
優(yōu)選的技術(shù)方案為：所述懸浮劑選用油酸。
優(yōu)選的技術(shù)方案為：所述表面活性劑選用十二烷基苯磺酸鈉。
此外，本申請(qǐng)還涉及一種石英玻璃研磨液制備方法，包括以下步驟：
a.初混合：將金剛石和氧化鋁按照配比混合均勻，得到研磨顆粒；將分散劑、懸浮劑和表面活性劑按照配比混合并攪拌均勻，得到懸浮液；
b.復(fù)混合：將研磨顆粒、懸浮液和水按照配比混合并攪拌均勻，得到研磨液。
由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本發(fā)明具有的有益效果為：
1.本方案提供的石英玻璃研磨液中同時(shí)加入兩種不同材質(zhì)的研磨顆粒，二者硬度不同，硬度大的金剛石顆粒有利于石英玻璃材料的有效去除，硬度略低的氧化鋁顆粒可對(duì)金剛石加工造成的裂紋進(jìn)行修復(fù)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于宜山光電科技（蘇州）有限公司，未經(jīng)宜山光電科技（蘇州）有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110315836.0/2.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
