[發明專利]一種雙面叉指換能器的蘭姆波器件及其制備方法

有效

• 申請號: 202110310116.5
• 申請日: 2021-03-23
• 公開（公告）號: CN113210240B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 付琛;范曉明;楊瞿同
• 申請（專利權）人: 魔音智芯科技（深圳）有限公司
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06;G03F7/20
• 代理公司: 深圳市中興達專利代理有限公司 44637
• 代理人: 林麗明

1.一種雙面叉指換能器的蘭姆波器件，其特征在于：包括壓電基底以及設置于所述壓電基底正反兩面的叉指換能器；

所述叉指換能器包括設置于所述壓電基底一側的激發叉指換能器和設置于所述壓電基底另一側的接收叉指換能器，所述激發叉指換能器和所述接收叉指換能器均包括一對梳形電極，所述梳形電極包括若干電極指，所述一對梳形電極的電極指相向間隔交叉排列，并且所述激發叉指換能器同一面上相鄰所述電極指的電極正負交替設置；

所述激發叉指換能器輸入交流電信號，經所述壓電基底的逆壓電效應激發蘭姆波并傳播出去，且最終傳播至所述接收叉指換能器區域時，經所述壓電基底的壓電效應，所述接收叉指換能器將所述蘭姆波轉換成交流電信號輸出；

所述壓電基底的正面兩側分別設置激發叉指換能器和接收叉指換能器，所述壓電基底的反面在其正面所述激發叉指換能器和所述接收叉指換能器的位置，分別對應設置第二組所述激發叉指換能器和所述接收叉指換能器；

所述壓電基底的反面在正面所述激發叉指換能器的位置，對應設置第二組所述激發叉指換能器；或者所述壓電基底的反面在正面所述接收叉指換能器的位置，對應設置第二組所述接收叉指換能器；

所述壓電基底的正面一側設置所述激發叉指換能器，所述壓電基底的反面在所述激發叉指換能器相對的一側設置所述接收叉指換能器；

所述壓電基底正反兩面同一側的兩組所述激發叉指換能器或兩組所述接收叉指換能器相對應電極指的電極相同或相反。

2.根據權利要求1所述一種雙面叉指換能器的蘭姆波器件，其特征在于：所述壓電基底為壓電單晶或者壓電薄膜。

3.一種雙面叉指換能器的蘭姆波器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

壓電基底上表面通過平面光刻工藝，剝離方式制作金屬電極形成叉指換能器；

所述壓電基底下表面由可進行雙面對準光刻機通過平面光刻工藝，剝離方式制作金屬電極形成叉指換能器。

4.一種雙面叉指換能器的蘭姆波器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

壓電基底上表面通過平面光刻工藝，剝離方式制作金屬電極形成叉指換能器；

將所述壓電基底反過來旋涂光刻膠；

利用所述壓電基底上表面制作的叉指換能器為掩模，對其下表面的光刻機進行曝光；

通過顯影剝離方式在所述壓電基底下表面形成叉指換能器。