[發(fā)明專利]一種MPCVD金剛石研磨裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110307383.7 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112847125B | 公開（公告）日： | 2022-03-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉宏明;林琳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖州中芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/10 | 分類號(hào)： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22;B24B47/26;B24B55/06;B24B55/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 湖州佳灝專利商標(biāo)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33476 | 代理人： | 黃永蘭 |
| 地址： | 313000 浙江省湖*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mpcvd 金剛石 研磨 裝置 | ||
1.一種MPCVD金剛石研磨裝置，包括研磨盤(1)，研磨盤(1)的頂面呈鏤空狀態(tài)，研磨盤(1)的底面固定連接有電機(jī)架(2)，電機(jī)架(2)底面固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(3)，研磨盤(1)底面開設(shè)有孔且轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(3)的傳動(dòng)軸位于其中，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(3)的傳動(dòng)軸在研磨盤(1)內(nèi)的一端固定連接有砂輪(4)，研磨盤(1)頂面左右兩側(cè)均開設(shè)有滑槽(5)，滑槽(5)內(nèi)套入有滑板(6)，滑板(6)對(duì)應(yīng)研磨盤(1)中心的一面開設(shè)有橫截面呈凸字型的槽，滑板(6)的內(nèi)壁套入有滑塊(7)，滑塊(7)遠(yuǎn)離研磨盤(1)中心的一面開設(shè)有孔且孔內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承連接有轉(zhuǎn)盤(8)，轉(zhuǎn)盤(8)的外壁開設(shè)有齒槽，其特征在于：所述滑板(6)側(cè)面內(nèi)壁開設(shè)有槽且槽內(nèi)套入有五個(gè)齒板(9)，五個(gè)齒板(9)上的齒形塊(12)數(shù)量由上至下等比例縮小，滑板(6)側(cè)面對(duì)應(yīng)五個(gè)齒板(9)的位置均開設(shè)有螺紋孔且螺紋連接有螺栓，螺栓通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承與齒板(9)連接，齒板(9)對(duì)應(yīng)滑塊(7)的一面開設(shè)有活動(dòng)槽(10)，活動(dòng)槽(10)上側(cè)內(nèi)壁固定連接有套柱(11)，套柱(11)外壁套入有齒形塊(12)，齒形塊(12)底端對(duì)應(yīng)活動(dòng)槽(10)的一面通過(guò)彈性體(42)與活動(dòng)槽(10)內(nèi)壁連接，轉(zhuǎn)盤(8)側(cè)面開設(shè)有孔且孔內(nèi)固定連接有連接軸A(15)，滑塊(7)頂面呈鏤空狀態(tài)且連接軸A(15)位于其中；
所述連接軸A(15)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)盤(8)的一端固定連接有轉(zhuǎn)環(huán)(16)，轉(zhuǎn)環(huán)(16)外壁開設(shè)有的環(huán)形槽且套入有連接桿(17)，連接桿(17)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)環(huán)(16)的一端固定連接有固定框(18)，固定框(18)兩側(cè)面均開設(shè)有螺紋孔且螺紋連接有螺栓，固定框(18)上兩個(gè)螺栓對(duì)應(yīng)固定框(18)內(nèi)壁的一面通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承連接有固定板(19)，兩個(gè)固定板(19)的對(duì)應(yīng)面等間距開設(shè)有圓柱孔且孔內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承連接有轉(zhuǎn)輥(27)，每個(gè)固定板(19)上的三個(gè)轉(zhuǎn)輥(27)均通過(guò)傳動(dòng)帶(28)相互連接，且位于中間的轉(zhuǎn)輥(27)對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)環(huán)(16)一面的傳動(dòng)軸貫穿固定框(18)并固定連接有導(dǎo)向桿(26)，導(dǎo)向桿(26)背側(cè)面固定連接有強(qiáng)磁鐵A(24)，固定框(18)固定連接有固定筒(21)，固定筒(21)背面開設(shè)有孔且孔內(nèi)套入有直齒輪A(22)，固定筒(21)背面在直齒輪A(22)兩側(cè)均通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接有直齒輪B(23)，直齒輪B(23)對(duì)應(yīng)固定框(18)的一面固定連接有強(qiáng)磁鐵B(25)，強(qiáng)磁鐵A(24)受到強(qiáng)磁鐵B(25)的磁力吸引，滑板(6)頂面內(nèi)部設(shè)置有磁鐵且對(duì)滑塊(7)具備磁力吸引作用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MPCVD金剛石研磨裝置，其特征在于：所述滑板(6)底面內(nèi)壁固定連接有彈簧A(13)，彈簧A(13)頂面固定連接有限制板(14)，限制板(14)頂面等間距開設(shè)有齒槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MPCVD金剛石研磨裝置，其特征在于：所述研磨盤(1)頂面通過(guò)螺紋連接機(jī)構(gòu)連接有蓋板(31)，蓋板(31)對(duì)應(yīng)滑槽(5)的外壁呈鏤空狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種MPCVD金剛石研磨裝置，其特征在于：所述蓋板(31)頂面中心開設(shè)有孔且孔內(nèi)固定連接有塞桿(37)，塞桿(37)頂面固定連有活塞(35)，活塞(35)和塞桿(37)外壁套入有注液筒(32)，注液筒(32)頂面內(nèi)壁通過(guò)彈簧B(36)與活塞(35)連接，注液筒(32)外壁固定連接有壓盤(33)，壓盤(33)對(duì)應(yīng)于滑塊(7)的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種MPCVD金剛石研磨裝置，其特征在于：所述連接軸A(15)的外壁等間距呈剖切狀態(tài)且通過(guò)剪切式連板(29)連接，剪切式連板(29)為多個(gè)兩側(cè)分別開設(shè)孔和設(shè)置凸起的矩形板交錯(cuò)拼接而成，連接軸A(15)側(cè)面開設(shè)有槽，剪切式連板(29)外壁呈鏤空狀態(tài)且套入有插桿(30)，插桿(30)一端與一側(cè)的連接軸A(15)連接且另一端與另一側(cè)的連接軸A(15)呈套入關(guān)系。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種MPCVD金剛石研磨裝置，其特征在于：所述注液筒(32)底端外壁固定連接且連通有連管(34)，塞桿(37)和活塞(35)頂面均呈鏤空狀態(tài)，塞桿(37)頂端外壁對(duì)應(yīng)滑槽(5)的一面開設(shè)有圓臺(tái)孔且圓臺(tái)孔內(nèi)壁通過(guò)彈簧C(39)連接有擋板(38)，擋板(38)直徑大的一面背離塞桿(37)的中心。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MPCVD金剛石研磨裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(3)在研磨盤(1)和砂輪(4)之間的傳動(dòng)軸固定連接有數(shù)個(gè)扇板(40)，研磨盤(1)左右兩側(cè)在研磨盤(1)和砂輪(4)之間的內(nèi)壁均呈鏤空狀態(tài)且與滑槽(5)連通，研磨盤(1)底面外沿開設(shè)有孔且孔內(nèi)固定連接有過(guò)濾板(41)。
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