[發明專利]消除大容量光柵陣列“鬼影”的方法及系統在審
| 申請號: | 202110306316.3 | 申請日: | 2021-03-23 |
| 公開(公告)號: | CN113064233A | 公開(公告)日: | 2021-07-02 |
| 發明(設計)人: | 李凱;徐一旻;宋珂;王月明;馬俊杰 | 申請(專利權)人: | 武漢烽理光電技術有限公司;武漢理工大學 |
| 主分類號: | G02B6/02 | 分類號: | G02B6/02 |
| 代理公司: | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102 | 代理人: | 許美紅 |
| 地址: | 430079 湖北省*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 消除 容量 光柵 陣列 鬼影 方法 系統 | ||
1.一種消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫方法,其特征在于,在刻寫光柵陣列的過程中,改變任意兩個相鄰光柵之間的距離,使得相鄰間隔之差不為零。
2.根據權利要求1所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫方法,其特征在于,在刻寫光柵陣列的過程中,增加一個隨機變量Δdn,使得相鄰兩個光柵的間隔為d+Δdn ,其中d為一個定值,Δdn 的隨機取值在-0.1d~0.1d之間。
3.根據權利要求1所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫方法,其特征在于,在刻寫光柵陣列的過程中,控制光柵陣列拉絲塔刻寫光柵的時間間隔,使得相同波長光柵之間的距離不完全相等。
5.根據權利要求4所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫系統,其特征在于,準分子激光器包括激光器和反饋模塊,激光器通過接收控制器的指令進行刻寫,反饋模塊通過CCD成像將激光器的出光功率、光柵掩膜板的光斑質量反饋到控制器;該控制器根據反饋模塊的反饋結果,向準分子激光器和光柵掩膜板發出微調指令。
6.根據權利要求4所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫系統,其特征在于,控制器具體用于:將光柵掩膜板調整到預設位置,并控制準分子激光器刻寫光柵,刻寫之后控制器將高精度計米器的編碼清0并通過準分子激光器的CCD反饋系統獲取當前的掩膜板實時位置和激光器輸出功率,并與預設值進行對比和微調;當高精度計米器的編碼達到預設的光柵刻寫間隔時,控制器控制準分子激光器再次刻寫光柵并重復以上步驟。
7.根據權利要求4所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫系統,其特征在于,控制器在預設的光柵刻寫間隔d上增加一個隨機變量Δdn,使得相鄰兩個光柵的間隔為d+Δdn,Δdn的隨機取值在-0.1d~0.1d之間。
8.根據權利要求7所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫系統,其特征在于,控制器通過調整光柵掩膜板的位置來刻寫相同波長的光柵;或者切換不同的光柵掩膜板,刻寫不同波長的光柵。
9.根據權利要求4所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫系統,其特征在于,控制器控制光柵陣列拉絲塔刻寫光柵的時間間隔,使得相同波長光柵之間的距離不完全相等。
10.一種消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫方法,其特征在于,該方法基于權利要求4-9任一項所述的消除大容量光柵陣列“鬼影”的光柵刻寫系統,該方法包括以下步驟:
S1、控制器根據反饋信息調整光纖前進速度v,激光器出光功率P及光柵掩膜板位置s,并將高精度計米器置0;
S2、以設置的光柵刻寫間隔d為基礎,生成±10%×d以內的隨機數Δdn,得到新的光柵間隔d’=d+Δdn;
S3、實時獲取高精度計米器的編碼信息;
S4、判斷高精度計米器的編碼是否等于d’;
S5、若高精度計米器編碼等于d’,則準分子激光器進行光柵刻寫;
S6、控制器獲取準分子激光器反饋信息;
S7、根據反饋信息判斷光纖刻寫數量是否達到預設值,若是則結束程序,若否則回到步驟S1。
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