[發明專利]一種面板缺陷檢測設備

有效

• 申請號: 202110305681.2
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113176277B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 王紹凱;黃運;羅川淦;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈工大機器人（中山）無人裝備與人工智能研究院
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京隆源天恒知識產權代理有限公司 11473
• 代理人: 段守富

1.一種面板缺陷檢測設備，其特征在于，包括承載臺、第一龍門（5）、第二龍門（6）、調平機構、初檢機構（7）和復檢機構（8），所述承載臺用于承載待測面板（9）并驅動所述待測面板（9）運動，所述第一龍門（5）的兩端和所述第二龍門（6）的兩端分別通過所述調平機構連接于所述承載臺上，所述調平機構適于升降，所述初檢機構（7）設于所述第一龍門（5）上，所述初檢機構（7）適于在所述第一龍門（5）上移動，所述復檢機構（8）設于所述第二龍門（6）上，所述復檢機構（8）適用在所述第二龍門（6）上移動，所述初檢機構（7）用于掃描所述待測面板（9），和所述復檢機構（8）用于對所述待測面板（9）進行復檢，所述復檢機構（8）包括第二對焦裝置（81）和設于所述第二對焦裝置（81）上的復掃相機（82），所述第二對焦裝置（81）包括活動板（818）、兩個第三測距傳感器、音圈電機（811）、第一測距傳感器（815）、位置編碼器（816）、處理器、連接板（817）和重力補償機構（812），所述復掃相機（82）適于設于所述活動板（818）上，兩個所述第三測距傳感器與所述活動板（818）下端邊緣的距離相同，所述音圈電機（811）、所述第一測距傳感器（815）和所述位置編碼器（816）分別與所述處理器電連接，所述第一測距傳感器（815）用于監測所述復掃相機（82）與所述待測面板（9）的間隔距離并反饋所述間隔距離給所述處理器，所述位置編碼器（816）用于監測所述復掃相機（82）的位置信息并反饋所述位置信息給所述處理器，所述音圈電機（811）用于驅動所述復掃相機（82）運動，所述處理器用于根據所述間隔距離、所述位置信息和預知的所述復掃相機（82）的最佳成像距離控制所述音圈電機（811），所述位置編碼器（816）、所述第一測距傳感器（815）和所述處理器構成閉環控制，所述位置編碼器（816）設于所述活動板（818）上，所述第一測距傳感器（815）設于所述復掃相機（82）上，所述復掃相機（82）用于對所述待測面板（9）進行復檢，所述第二對焦裝置（81）用于監測所述復掃相機（82）與所述待測面板（9）的距離，并根據所述復掃相機（82）與所述待測面板（9）的距離使所述復掃相機（82）相對所述第二龍門（6）垂向運動，以使所述復掃相機（82）與所述待測面板（9）的距離為所述復掃相機（82）的最佳成像距離，所述音圈電機（811）定子設于所述連接板（817）上，所述音圈電機（811）動子與所述活動板（818）連接，所述活動板（818）適于相對所述連接板（817）垂向運動，所述音圈電機（811）用于驅動所述活動板（818）運動，以帶動所述復掃相機（82）運動，所述重力補償機構（812）用于輸出一個與所述復掃相機（82）的重力方向相反的恒力。

2.根據權利要求1所述的面板缺陷檢測設備，其特征在于，所述承載臺包括承載架（1）和設于所述承載架（1）上的氣浮機構（2），所述氣浮機構（2）用于懸浮支撐所述待測面板（9）。

3.根據權利要求2所述的面板缺陷檢測設備，其特征在于，所述氣浮機構（2）包括氣浮臺（21）和氣浮條（22），所述氣浮臺（21）和所述氣浮條（22）用于懸浮支撐所述待測面板（9），所述承載架（1）包括依次設置的第一支架（11）、第二支架（12）和第三支架（13），所述第一支架（11）和所述第三支架（13）上設有所述氣浮條（22），所述第二支架（12）上設有所述氣浮臺（21），所述初檢機構（7）和/或所述復檢機構（8）掃描所述待測面板（9）時，所述待測面板（9）懸浮于所述氣浮臺（21）上。

4.根據權利要求3所述的面板缺陷檢測設備，其特征在于，所述承載臺還包括面板夾持機構（3），所述面板夾持機構（3）用于帶動所述待測面板（9）在所述承載臺上運動。

5.根據權利要求4所述的面板缺陷檢測設備，其特征在于，所述面板夾持機構（3）包括吸附機構（34），所述吸附機構（34）適于垂向吸附所述待測面板（9），并適于帶動所述待測面板（9）移動。

6.根據權利要求5所述的面板缺陷檢測設備，其特征在于，所述承載臺還包括預定位機構（4），所述預定位機構（4）用于對所述待測面板（9）進行位置矯正。