[發(fā)明專利]一種面板檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)焦控制方法和面板缺陷檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110305674.2
• 申請(qǐng)日: 2021-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN113219618B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王紹凱;黃新劍;王偉波;譚久彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈工大機(jī)器人（中山）無人裝備與人工智能研究院
• 主分類號(hào): G02B7/09
• 分類號(hào): G02B7/09;G02B7/28;G02B7/36;G01N21/88
• 代理公司: 北京隆源天恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11473
• 代理人: 鮑麗偉

本發(fā)明提供了一種面板檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)焦控制方法及面板缺陷檢測(cè)方法，所述面板檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)焦控制方法包括：獲取對(duì)焦位置；控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)在承載結(jié)構(gòu)處運(yùn)動(dòng)，以使驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光學(xué)成像系統(tǒng)朝向?qū)刮恢眠\(yùn)動(dòng)；獲取第一位置檢測(cè)裝置的第一位置信息；根據(jù)第一位置信息判斷第二位置檢測(cè)裝置是否符合運(yùn)行要求；若是，則獲取第二位置檢測(cè)裝置的第二位置信息，并根據(jù)第二位置信息和對(duì)焦位置控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)光學(xué)成像系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)焦。本發(fā)明的有益效果：能夠使光學(xué)成像系統(tǒng)對(duì)面板的對(duì)焦更加精確，進(jìn)而能夠?qū)γ姘暹M(jìn)行更加精確的檢測(cè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及面板光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種面板檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)焦控制方法和面板缺陷檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

在面板光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域，隨著生產(chǎn)檢測(cè)要求越來越高，檢測(cè)面板的最小分辨率要求2個(gè)像素以內(nèi)。由于像素的需求，往往采用高放大倍率的光學(xué)成像系統(tǒng)。光學(xué)成像系統(tǒng)與面板之間的距離需要穩(wěn)定控制在景深范圍內(nèi)，而高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng)景深都很小，常見光學(xué)鏡頭景深±10μ，甚至有的要求±5μ，由于面板在檢測(cè)設(shè)備上是實(shí)時(shí)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，為保證光學(xué)系統(tǒng)與運(yùn)動(dòng)面板之間景深，需要對(duì)光學(xué)成像系統(tǒng)的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)較好的對(duì)焦效果?，F(xiàn)有技術(shù)通常采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)光學(xué)成像系統(tǒng)以進(jìn)行特定行程的活動(dòng)，以使光學(xué)成像系統(tǒng)到達(dá)對(duì)焦位置，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)焦，但該方式調(diào)節(jié)精度較差，無法對(duì)對(duì)焦情況進(jìn)行精確的控制。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是如何使光學(xué)成像系統(tǒng)對(duì)面板的對(duì)焦更加精確。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種面板檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)焦控制方法，應(yīng)用于面板檢測(cè)系統(tǒng)，所述面板檢測(cè)系統(tǒng)包括承載結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、光學(xué)成像系統(tǒng)、第一位置檢測(cè)裝置和第二位置檢測(cè)裝置，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)適于在所述承載結(jié)構(gòu)處運(yùn)動(dòng)，所述光學(xué)成像系統(tǒng)與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述第一位置檢測(cè)裝置適于對(duì)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)在所述承載結(jié)構(gòu)處的位置進(jìn)行檢測(cè)，所述第二位置檢測(cè)裝置適于對(duì)所述光學(xué)成像系統(tǒng)的位置進(jìn)行檢測(cè)，所述面板檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)焦控制方法包括：

獲取對(duì)焦位置；

控制所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)在所述承載結(jié)構(gòu)處運(yùn)動(dòng)，以使所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)和所述光學(xué)成像系統(tǒng)朝向所述對(duì)焦位置運(yùn)動(dòng)；

獲取所述第一位置檢測(cè)裝置的第一位置信息；

根據(jù)所述第一位置信息判斷所述第二位置檢測(cè)裝置是否符合運(yùn)行要求；

若是，則獲取所述第二位置檢測(cè)裝置的第二位置信息，并根據(jù)所述第二位置信息和所述對(duì)焦位置控制所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)所述光學(xué)成像系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)焦。

進(jìn)一步地，所述第二位置檢測(cè)裝置與所述光學(xué)成像系統(tǒng)連接；所述根據(jù)所述第一位置信息判斷所述第二位置檢測(cè)裝置是否符合運(yùn)行要求包括：

當(dāng)所述第一位置信息與所述對(duì)焦位置相匹配，且所述第二位置檢測(cè)裝置的電壓小于或等于預(yù)設(shè)電壓時(shí)，則判定所述第二位置檢測(cè)裝置符合運(yùn)行要求。

進(jìn)一步地，所述第一位置信息為所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)在所述承載結(jié)構(gòu)處相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的初始位置的電機(jī)間距，所述對(duì)焦位置為所述光學(xué)成像系統(tǒng)相對(duì)于待測(cè)面板的對(duì)焦間距；所述判斷所述第二位置檢測(cè)裝置是否符合運(yùn)行要求還包括：

根據(jù)所述電機(jī)間距以及所述對(duì)焦間距判斷所述第一位置信息是否與所述對(duì)焦位置相匹配，其中，當(dāng)所述初始位置與所述待測(cè)面板的間距與所述電機(jī)間距的求差結(jié)果和所述對(duì)焦間距的差值小于或等于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)，則判定所述第一位置信息與所述對(duì)焦位置相匹配。

進(jìn)一步地，所述第二位置信息為所述光學(xué)成像系統(tǒng)與所述待測(cè)面板的實(shí)際間距；所述根據(jù)所述第二位置信息和所述對(duì)焦位置控制所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)所述光學(xué)成像系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)焦包括：

根據(jù)所述實(shí)際間距與所述對(duì)焦間距的差值控制所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)動(dòng)，直至所述實(shí)際間距與所述對(duì)焦間距的差值小于或等于第二預(yù)設(shè)閾值。