[發明專利]一種高產酸的酰亞胺磺酸酯類光產酸劑、組合物及應用

在審

• 申請號: 202110305231.3
• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN115109046A
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 錢曉春;龔艷;姜超;徐麗萍
• 申請（專利權）人: 常州強力先端電子材料有限公司;常州強力電子新材料股份有限公司;常州強力光電材料有限公司
• 主分類號: C07D409/04
• 分類號: C07D409/04;G03F7/004
• 代理公司: 北京漢德知識產權代理事務所(普通合伙) 11328
• 代理人: 劉子文;徐馳

1.一種酰亞胺磺酸酯類光產酸劑，具有如下通式(A1)或(A2)所示結構：

其中，

R₁表示C₁-C₂₀的直鏈或支鏈的烷基、C₃-C₂₀的環狀烷基、C₁-C₂₀的直鏈或支鏈的氟代烷基、C₃-C₂₀的氟代環狀烷基、C₆-C₁₈的取代或未取代的芳基、樟腦基、或疊氮萘酮基團；

R₂、R₃、R₄和R₄”可相同也可不同，各自獨立地選自下列基團：氫；硝基；直鏈或支鏈的烷基、或環烷基，任選地，其中的-CH₂-可以被-O-、-S-所取代，烴基上的氫可以部分或全部被取代；芳香基(如苯基、萘基等)，任選地，其中的芳環上的氫可以被鹵素、烷基、烷氧基、硫醚基、酰基或酯基所取代；C₇-C₂₀的苯基烷基，任選地，苯基上的至少一個氫原子可以被C₁-C₈的烷基所取代，烷基中的-CH₂-可以被-O-、-S-或-NH-所取代；R₁’-CO-，其中R₁’表示C₁-C₁₀的烷基、C₃-C₁₀的環烷基、苯基，任選地，苯基中的至少一個氫原子可以被C₁-C₈的烷基或烷氧基所取代；R₂’-CO-O-R₃’-，其中R₂’表示C₁-C₁₀的烷基、苯基，任選地，苯基中的至少一個氫原子可以被C₁-C₈的烷基所取代，R₃’表示空、C₁-C₈的亞烷氧基、或C₃-C₈的亞炔基；R₄’-O-CO-R₅’-，其中R₄’表示C₁-C₁₀的烷基，R₅’表示C₁-C₁₀的亞烷基；直鏈或支鏈的烯基、含環烷基或芳基的烯基，任選地，其中的烴基上的氫可以部分或全部被取代；直鏈或支鏈的炔基，含環烷基或芳基的炔基，任選地，其中的烴基上的氫可以部分或全部被取代；烷基磺酰氧基，含環烷基或芳基的磺酰氧基，任選地，烷基上的氫可以部分或全部被取代；烷基硅烷基，含環烷基的硅烷基，任選地，烷基上的氫可以部分或全部被取代；含N、S或O的雜環基；

R₂和R₃可彼此相連以形成五元環或六元環；

前提是，通式(A1)中R₂、R₃和R₄不同時為氫，通式(A2)中R₂、R₃和R₄”不同時為氫。

2.根據權利要求1所述的酰亞胺磺酸酯類光產酸劑，其特征在于，R₁選自下列基團：C₁-C₈的直鏈或支鏈的烷基；C₁-C₈的直鏈或支鏈的全氟代烷基；全氟代苯基；至少一個氫原子被C₁-C₆的直鏈或支鏈的烷基或氟代烷基、或者胺基所取代的苯基；樟腦基；疊氮萘酮基團。

3.根據權利要求2所述的酰亞胺磺酸酯類光產酸劑，其特征在于：R₁選自甲基、丙基、辛基、全氟代甲基、全氟代乙基、全氟代丙基、全氟代丁基、全氟代戊基、全氟代苯基、樟腦基、疊氮萘酮基團、對甲基苯基、對胺基苯基、間異丙基苯基、或全氟代甲基苯基。