[發(fā)明專利]薄膜晶體管、顯示裝置以及薄膜晶體管制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110304653.9
• 申請(qǐng)日: 2021-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113097227B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮮濟(jì)遙;周佑聯(lián);許哲豪;鄭浩旋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北海惠科光電技術(shù)有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 張志江

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種一種薄膜晶體管、顯示裝置以及薄膜晶體管制備方法，其中，薄膜晶體管包括基板以及在基板上依次層疊的第一金屬層、絕緣層、第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層、第二金屬層；薄膜晶體管還包括布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)、像素電極以及像素區(qū)域保護(hù)層；布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)設(shè)于絕緣層上，且包裹層疊后的第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層和第二金屬層；像素區(qū)域保護(hù)層設(shè)于布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)的一側(cè)，像素電極設(shè)于像素區(qū)域保護(hù)層上。本申請(qǐng)通過(guò)在薄膜晶體管中設(shè)置具有反射效果的布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)，利用布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)對(duì)背光源發(fā)出的散射光和折射光進(jìn)行反射，減少背光源所發(fā)出的光進(jìn)入薄膜晶體管的有源層，從而抑制光生載流子，提升顯示裝置的顯示性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及顯示裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及的是一種薄膜晶體管、顯示裝置以及薄膜晶體管制備方法。

背景技術(shù)

這里的陳述僅提供與本申請(qǐng)有關(guān)的背景信息，而不必然構(gòu)成示例性技術(shù)。

薄膜晶體管(TFT)是液晶顯示器的核心部件，而薄膜晶體管的半導(dǎo)體材料a-Si對(duì)光照很敏感，光照后的光電導(dǎo)與沒(méi)有光照時(shí)的暗電導(dǎo)的比值可達(dá)105 數(shù)量級(jí)。

在薄膜晶體管的工作環(huán)境中，源自于背光的光照會(huì)在其工作環(huán)境中形成各種反射光和雜散射光，當(dāng)這些反射光以及雜散射光照射到I-a-Si(氫化非晶硅)半導(dǎo)體中時(shí)，會(huì)形成光生載流子(即電子空穴對(duì)，電子往漏極方向移動(dòng)，空穴往源極方向移動(dòng)，從而形成空穴漏電流)；光生載流子可以使得漏極電流有很大的提升，嚴(yán)重影響顯示面板的顯示效果；因此，需要阻擋來(lái)自于薄膜晶體管正面及側(cè)面的各種反射光和散射光，防止工作環(huán)境中的反射光和雜散射光進(jìn)入到半導(dǎo)體層，以抑制光生載流子。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)的目的是提供一種一種薄膜晶體管、顯示裝置以及薄膜晶體管制備方法，解決了折射光和散射光進(jìn)入有源層半導(dǎo)體材料從而產(chǎn)生光生載流子的技術(shù)問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括基板以及在所述基板上依次層疊的第一金屬層、絕緣層、第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層、第二金屬層；

所述薄膜晶體管還包括布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)、像素電極以及像素區(qū)域保護(hù)層；所述布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)設(shè)于所述絕緣層上，且包裹層疊后的第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層和第二金屬層；所述像素區(qū)域保護(hù)層設(shè)于所述布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)的一側(cè)，所述像素電極設(shè)于所述像素區(qū)域保護(hù)層上。

可選地，所述第一金屬層包括第一金屬薄膜以及第一光刻膠，所述第一光刻膠涂布在所述第一金屬薄膜的表面。

可選地，所述第二金屬層包括第二金屬薄膜以及第二光刻膠，所述第二光刻膠涂布在所述第二金屬薄膜的表面。

可選地，所述布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)包括交替沉積的第一薄膜以及第二薄膜；所述第一薄膜的折射率大于所述第二薄膜的折射率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N顯示裝置，所述顯示裝置包括彩膜基板、液晶分子層以及如上所述的薄膜晶體管；所述液晶分子層設(shè)于所述薄膜晶體管與所述彩膜基板之間；

所述薄膜晶體管包括基板以及在所述基板上依次層疊的第一金屬層、絕緣層、第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層、第二金屬層；

所述薄膜晶體管還包括布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)、像素電極以及像素區(qū)域保護(hù)層；所述布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)設(shè)于所述絕緣層上，且包裹層疊后的第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層和第二金屬層；所述像素區(qū)域保護(hù)層設(shè)于所述布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)的一側(cè)，所述像素電極設(shè)于所述像素區(qū)域保護(hù)層上。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N薄膜晶體管制備方法，用于制造如上所述的薄膜晶體管，所述方法包括：

在基板上形成半導(dǎo)體層以及金屬層；

在所述半導(dǎo)體層以及金屬層上包裹多種折射率的反射薄膜，以形成具有預(yù)設(shè)折射率的布拉格全反射鏡結(jié)構(gòu)；以及