[發明專利]一種顯微鏡鎖焦系統

在審

• 申請號: 202110303433.4
• 申請日: 2021-03-22
• 公開（公告）號: CN113030090A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 孫佳音;王宏達;趙天野
• 申請（專利權）人: 中科院長春應化所黃埔先進材料研究院
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01;G02B21/24;G01B7/312
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郭浩輝;顏希文

1.一種顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，包括：探測光源、半透半反鏡、二向色鏡、顯微鏡管鏡、顯微鏡物鏡、第一透鏡、分束鏡、第一狹縫元件、第二狹縫元件、第一雪崩二極管以及第二雪崩二極管；

所述第一狹縫元件與所述第一雪崩二極管連接，所述第二狹縫元件與所述第二雪崩二極管連接；

所述探測光源，用于生成入射光束；其中，所述入射光束依次經過所述半透半反鏡、所述二向色鏡、所述顯微鏡管鏡以及所述顯微鏡物鏡射入樣品的載玻片；所述載玻片所生成的反射光束依次經過所述顯微鏡物鏡、所述顯微鏡管鏡、所述二向色鏡、所述半透半反鏡以及所述第一透鏡射入所述分束鏡；

所述分束鏡，用于將所述反射光束分成第一光束和第二光束；其中，所述第一光束經過所述第一狹縫元件射入所述第一雪崩二極管；所述第二光束經過所述第二狹縫元件射入所述第二雪崩二極管；

在調節至預設的理想焦面時，所述分束鏡位于光束匯聚焦點以及所述第一透鏡之間，所述第一雪崩二極管至所述分束鏡的距離與所述第二雪崩二極管至所述光束匯聚焦點的距離之和，等于所述分束鏡至所述光束匯聚焦點的距離。

2.如權利要求1所述的顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，所述半透半反鏡與所述入射光束所形成的入射角為45°。

3.如權利要求2所述的顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，所述二向色鏡與所述入射光束所形成的入射角小于45°。

4.如權利要求3所述的顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，所述光束匯聚焦點、所述第一透鏡的中心以及所述分束鏡的中心在同一直線上。

5.如權利要求4所述的顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，所述第一狹縫元件以及所述第二狹縫元件的規格參數相同，且第一狹縫元件以及所述第二狹縫元件所述均為50μm。

6.如權利要求5所述的顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，所述第一雪崩二極管與所述第二雪崩二極管的規格參數相同，且所述第一雪崩二極管與所述第二雪崩二極管的靶面尺寸均大于500μm×500μm。

7.如權利要求1-6任意一項所述的顯微鏡鎖焦系統，其特征在于，還包括：物鏡移動機構；

所述物鏡移動機構，用于計算所述第一雪崩二極管以及所述第二雪崩二極管所產生的電流差值，根據所述電流差值調整所述顯微鏡物鏡的位置，直至所述電流差值為零。