[發(fā)明專利]應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法及低溫保養(yǎng)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110303183.4
• 申請(qǐng)日: 2021-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112845391A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙義黨;李志華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 珠海恒格微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00;B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 盧澤明

1.應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法，其特征在于，包括：

S100生成低溫清潔粒子；

S200壓縮空氣，通過(guò)壓縮空氣與低溫清潔粒子混合并噴射到待清洗設(shè)備的表面；

S300低溫清潔粒子沖擊待清洗設(shè)備的表面，表面的污質(zhì)迅速冷卻而凝結(jié)、脆化，污質(zhì)隨氣流從待清洗設(shè)備的表面剝離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法，其特征在于，所述生成低溫清潔粒子的步驟包括：

在存儲(chǔ)室(502)內(nèi)放置固體低溫清潔粒子；

設(shè)置在存儲(chǔ)室(502)下端的粉碎組件攪拌并將低溫清潔粒子粉碎成顆粒狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法，其特征在于，所述壓縮空氣的步驟包括：

空氣壓縮系統(tǒng)壓縮空氣形成高壓氣流；

高壓氣流與低溫清潔粒子混合并從噴嘴沖噴射至沖擊待清洗設(shè)備的表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法，其特征在于，低溫清潔粒子沖擊待清洗設(shè)備的表面的步驟包括：

低溫清潔粒子噴射并沖擊到污質(zhì)，低溫清潔粒子與污質(zhì)發(fā)生熱轉(zhuǎn)移，低溫清潔粒子升華，污質(zhì)表面受冷脆化及爆裂，從而自設(shè)備的表面剝離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法，其特征在于，所述低溫清潔粒子為干冰。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)方法，其特征在于，還包括高壓沖洗步驟，在向待清洗設(shè)備的表面噴射低溫清潔粒子之前或之后，對(duì)設(shè)備的表面進(jìn)行高壓水沖洗操作。

7.應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)裝置，其特征在于，包括：

機(jī)架(500)，連接有移動(dòng)組件(501)，所述移動(dòng)組件(501)可驅(qū)使所述機(jī)架(500)在水平面上往復(fù)移動(dòng)；

存儲(chǔ)室(502)，設(shè)置在所述機(jī)架(500)上，用于存放固體低溫清潔粒子；

粉碎組件，設(shè)置在所述存儲(chǔ)室(502)的下端，可將固體低溫清潔粒子粉碎呈顆粒狀；

第一噴頭(503)，通過(guò)第一增壓組件與所述存儲(chǔ)室(502)連接，用于噴射顆粒狀的低溫清潔粒子。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)裝置，其特征在于，還包括高壓水組件，所述高壓水組件包括儲(chǔ)水箱(504)，所述儲(chǔ)水箱(504)與所述第一增壓組件連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)裝置，其特征在于，還包括高壓水組件，所述高壓水組件包括儲(chǔ)水箱(504)以及與所述儲(chǔ)水箱(504)連接的第二增壓組件，所述第二增壓組件的輸出端連接有第二噴頭。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的應(yīng)用于線路板生產(chǎn)設(shè)備的低溫保養(yǎng)裝置，其特征在于，還包括檢測(cè)控制組件，所述檢測(cè)控制組件包括控制單元、設(shè)置在所述機(jī)架(500)上的顯示面板、用于檢測(cè)所述存儲(chǔ)室(502)內(nèi)的壓強(qiáng)或低溫清潔粒子余量的檢測(cè)傳感器，所述顯示面板、所述檢測(cè)傳感器以及所述第一增壓組件均與所述控制單元電連接。