[發明專利]圖像感測裝置

在審

• 申請號: 202110302106.7
• 申請日: 2021-03-22
• 公開（公告）號: CN114079755A
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 吳先鎬
• 申請（專利權）人: 愛思開海力士有限公司
• 主分類號: H04N9/04
• 分類號: H04N9/04;H04N5/378
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 劉久亮;黃綸偉

一種圖像感測裝置包括：半導體基板；多個光電轉換元件，其由半導體基板支撐，每個光電轉換元件被配置為通過執行對入射光的光電轉換來生成與入射光相對應的電信號；多個濾色器，其設置在半導體基板上，以對要由光電轉換元件接收的入射光進行過濾，每個濾色器被配置為允許具有特定顏色的光通過；以及柵格結構，其設置在濾色器之間，并且被構造為包括具有基于相鄰濾色器的顏色的形狀的不對稱側壁。

技術領域

本專利文件中公開的技術和實施方式總體上涉及圖像感測裝置。

背景技術

圖像感測裝置用于電子裝置中以將光學圖像轉換成電信號。隨著汽車、醫療、計算機和通信行業的最新發展，在諸如數碼相機、便攜式攝像機、個人通信系統(PCS)、視頻游戲機、監控攝像機、醫療微型攝像機、機器人等的各種電子裝置中，對高度集成的高性能圖像傳感器的需求迅速增長。

發明內容

所公開技術的各個實施方式涉及一種用于校正濾色器的顏色之間的靈敏度差異以更容易地實現高動態范圍(HDR)的圖像感測裝置。

根據所公開技術的一個實施方式，圖像感測裝置可以包括：半導體基板；多個光電轉換元件，所述多個光電轉換元件由半導體基板支撐，每個光電轉換元件被配置為通過執行對入射光的光電轉換來生成與入射光相對應的電信號；多個濾色器，所述多個濾色器設置在半導體基板上，以對要由光電轉換元件接收的入射光進行過濾，每個濾色器被配置為允許具有特定顏色的光通過；以及柵格結構，其設置在濾色器之間，并且被構造為包括具有基于相鄰濾色器的顏色的形狀的不對稱側壁。

根據所公開技術的另一實施方式，圖像感測裝置可以包括：濾色器層，其包括被配置為允許特定顏色的光通過的多個濾色器；以及柵格結構，其設置在濾色器之間。多個濾色器可以包括具有第一尺寸的第一濾色器和具有大于第一尺寸的第二尺寸的第二濾色器。柵格結構可以包括：第一柵格結構，其被布置為與第一濾色器接觸并且配置為具有第一寬度；以及第二柵格結構，其被布置為與第二濾色器接觸并且被配置為具有小于第一寬度的第二寬度。這里，第一柵格結構具有不對稱側壁。

應當理解，所公開技術的前述一般描述和以下詳細描述都是說明性和解釋性的，并且旨在提供對所要求保護的本公開的進一步解釋。

附圖說明

當結合附圖考慮時，參照以下詳細描述，所公開技術的上述和其它特征以及有益方面將變得顯而易見。

圖1是示出基于所公開技術的一些實施方式的圖像感測裝置的示例布局的示意圖。

圖2A是示出基于所公開技術的一些實施方式的沿圖1所示的線X1-X1’截取的像素陣列的示例的截面圖。

圖2B是示出基于所公開技術的一些實施方式的沿圖1所示的線Y1-Y1’截取的像素陣列的示例的截面圖。

圖3A至圖3E是示出基于所公開技術的一些實施方式的用于形成圖2A所示的結構的工藝的示例的截面圖。

圖4是示出基于所公開技術的一些實施方式的像素陣列的平面布置結構的平面圖。

圖5A是示出基于所公開技術的一些實施方式的沿圖4所示的線X2-X2’截取的像素陣列的示例的截面圖。

圖5B是示出基于所公開技術的一些實施方式的沿圖4所示的線Y2-Y2’截取的像素陣列的示例的截面圖。

圖5C是示出基于所公開技術的一些實施方式的沿圖4所示的線X3-X3’截取的像素陣列的示例的截面圖。

圖6是示出基于所公開技術的一些實施方式的其中圖5C所示的柵格結構以空氣柵格的形狀形成的情況的示例的截面圖。

具體實施方式