[發明專利]一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器

有效

• 申請號: 202110301512.1
• 申請日: 2021-03-22
• 公開（公告）號: CN113050250B
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 牛冬生
• 申請（專利權）人: 中國科學院國家天文臺南京天文光學技術研究所
• 主分類號: G02B7/183
• 分類號: G02B7/183;G02B7/198
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 李湘群

1.一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器，其特征在于，包括兩套并聯式螺紋絲桿結構，即第一螺紋絲桿(9)及與之外配合的第一絲桿螺母(8)、以及空心結構的第二螺紋絲桿(10)及與之外配合的第二絲桿螺母(11)，所述第一絲桿螺母(8)和第二絲桿螺母(11)均為消隙絲桿螺母，且所述第一螺紋絲桿(9)與第二螺紋絲桿(10)均為滾珠絲桿，所述第一螺紋絲桿(9)和第二螺紋絲桿(10)兩者螺旋方向相同、且具有不同螺紋導程，利用兩者間的相對導程差實現位移的輸出，所述第一螺紋絲桿(9)通過導向件與鏡面(16)相連，所述第一絲桿螺母(8)和所述第二螺紋絲桿(10)均與驅動電機(1)連接，所述第二絲桿螺母(11)固定于望遠鏡機架(18)上；所述高精度微位移促動器的位移輸出精度為亞微米級或納米級，采用開環控制即可實現高精度的微位移輸出，同時用于實現滾珠絲桿的自鎖。

2.根據權利要求1所述的一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器，其特征在于，還包括導軌安裝座(7)，所述第二絲桿螺母(11)與導軌安裝座(7)相連，導軌安裝座(7)上固定安裝有導向裝置，所述導向裝置包括直線導軌(6)，所述直線導軌(6)上安裝有滑塊(4)，所述驅動電機(1)與所述滑塊(4)固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器，其特征在于，所述第一螺紋絲桿(9)與導向件可在第二螺紋絲桿(10)內部自由移動，所述導向件用于第一螺紋絲桿(9)導向。

4.根據權利要求1所述的一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器，其特征在于，所述導向件為滾動花鍵軸(12)，所述第一螺紋絲桿(9)與滾動花鍵軸(12)加工成一個零件，即該零件分成兩段，一段為螺紋絲桿另一段為滾動花鍵軸。

5.根據權利要求4所述的一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器，其特征在于，所述滾動花鍵軸(12)與滾動花鍵套(14)配合。

6.根據權利要求1所述的一種利用螺紋并聯式結構的高精度微位移促動器，其特征在于，所述高精度微位移促動器結合位移計形成閉環控制的高精度微位移促動器。