[發(fā)明專(zhuān)利]一種MPCVD金剛石切割裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110301442.X
• 申請(qǐng)日: 2021-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113043491A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宏明;林琳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 湖州中芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/02
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11676
• 代理人: 黃永蘭

1.一種MPCVD金剛石切割裝置，包括套入筒(1)，其特征在于：所述套入筒(1)后沿外壁等間距開(kāi)設(shè)有六個(gè)連接槽(2)，連接槽(2)的底面開(kāi)設(shè)有螺紋孔，連接槽(2)的內(nèi)壁套入且螺紋連接有連接框架(3)，連接框架(3)的背面開(kāi)設(shè)有凸字型槽(4)，凸字型槽(4)內(nèi)套入有凸字型塊(5)且凸字型塊(5)的背面固定連接有活動(dòng)連接板A(6)，活動(dòng)連接板A(6)的底面同樣固定連接有凸字型塊(5)，活動(dòng)連接板A(6)的下方設(shè)置有活動(dòng)連接板B(7)，活動(dòng)連接板B(7)的凸面同樣開(kāi)設(shè)有凸字型槽(4)且與活動(dòng)連接板A(6)底面的凸字型塊(5)呈套入關(guān)系，活動(dòng)連接板B(7)的凹面固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)且轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的傳動(dòng)軸固定連接有切割片(8)，活動(dòng)連接板B(7)的凹面固定連接有液管(9)，液管(9)遠(yuǎn)離活動(dòng)連接板B(7)的一端與輸出切削液的設(shè)備連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MPCVD金剛石切割裝置，其特征在于：所述連接框架(3)的外壁固定連接有凸字型槽(4)，凸字型槽(4)的內(nèi)壁設(shè)置有齒槽，連接槽(2)的內(nèi)壁固定連接有框形墊(11)，框形墊(11)脫離連接槽(2)的一面開(kāi)設(shè)有孔，連接框架(3)對(duì)應(yīng)連接槽(2)的一面開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)槽(12)，對(duì)應(yīng)槽(12)內(nèi)壁對(duì)應(yīng)框形墊(11)上的孔的位置同樣開(kāi)設(shè)有孔，連接框架(3)和活動(dòng)連接板A(6)內(nèi)部均呈鏤空狀態(tài)且通過(guò)氣管連通，活動(dòng)連接板A(6)內(nèi)壁對(duì)應(yīng)連接框架(3)的位置開(kāi)設(shè)有孔且與兩個(gè)擴(kuò)張墊(10)均連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MPCVD金剛石切割裝置，其特征在于：所述套入筒(1)外壁開(kāi)設(shè)有環(huán)形槽且套入有套框(13)，套框(13)正面呈鏤空狀態(tài)，套入筒(1)左右和上下兩側(cè)外壁在對(duì)應(yīng)套框(13)內(nèi)壁的位置均開(kāi)設(shè)有孔且孔內(nèi)套入有活塞機(jī)構(gòu)(16)，活塞機(jī)構(gòu)(16)包括活塞(1601)、塞桿(1602)和彈簧A(1603)，塞桿(1602)套入在套入筒(1)外壁的孔內(nèi)，塞桿(1602)遠(yuǎn)離套入筒(1)的一端固定連接有(1061)，套入筒(1)外壁的(1061)套入有圓筒A(15)，活塞(1601)通過(guò)彈簧A(1603)與圓筒A(15)內(nèi)壁連接，塞桿(1602)在套入筒(1)內(nèi)壁的一端固定連接有夾板(18)，圓筒A(15)遠(yuǎn)離套入筒(1)的一端固定連接有貼板(14)，貼板(14)與套框(13)內(nèi)壁貼合，貼板(14)通過(guò)彈簧B(17)與套入筒(1)外壁固定連接，套框(13)內(nèi)壁等間距設(shè)有四個(gè)半圓柱凸起(20)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種MPCVD金剛石切割裝置，其特征在于：所述貼板(14)凹面通過(guò)擠壓墊(21)與套入筒(1)外壁連接，套入筒(1)內(nèi)部開(kāi)設(shè)有環(huán)形的孔且與四個(gè)擠壓墊(21)連通，套入筒(1)底面固定連接有底座(22)，底座(22)前側(cè)端開(kāi)設(shè)有孔且孔內(nèi)壁固定連接有圓筒B(23)，圓筒B(23)內(nèi)壁同樣設(shè)置有活塞機(jī)構(gòu)(16)且活塞機(jī)構(gòu)(16)背端固定連接有推盤(pán)(24)，套入筒(1)正面固定連接且連通有連接管(25)，連接管(25)遠(yuǎn)離套入筒(1)的一端與圓筒B(23)固定連接且連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種MPCVD金剛石切割裝置，其特征在于：所述夾板(18)對(duì)應(yīng)套入筒(1)中心的一面鋪設(shè)有孔且孔內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承安裝有轉(zhuǎn)輥(19)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種MPCVD金剛石切割裝置，其特征在于：所述夾板(18)背面開(kāi)設(shè)有通孔(26)，通孔(26)與夾板(18)對(duì)應(yīng)套入筒(1)中心的一面鋪設(shè)的孔連通，夾板(18)內(nèi)壁通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承連接有轉(zhuǎn)桿(27)，轉(zhuǎn)桿(27)外壁對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)輥(19)的位置均固定連接有錐形齒輪A(28)，錐形齒輪B(29)對(duì)應(yīng)錐形齒輪A(28)的一面固定連接有錐形齒輪B(29)，錐形齒輪A(28)與錐形齒輪B(29)相互嚙合，轉(zhuǎn)桿(27)背面外壁固定連接有三個(gè)扇葉(30)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種MPCVD金剛石切割裝置，其特征在于：所述套入筒(1)頂面固定連接有連接桿(31)，連接桿(31)背端固定連接有擋盤(pán)(32)，擋盤(pán)(32)內(nèi)壁固定連接有篩板(33)。