[發(fā)明專利]一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110301376.6 | 申請日： | 2021-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN112964380A | 公開（公告）日： | 2021-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐凱臣;陸雨姚;楊賡;楊華勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01K7/16 | 分類號： | G01K7/16 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 激光 加工 柔性 溫度傳感器 制備 方法 | ||
1.一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于：
1)使用二氧化碳激光作為誘導(dǎo)光源，聚酰亞胺膜作為前驅(qū)體，誘導(dǎo)光源聚焦在聚酰亞胺膜表面上并掃描，使得在聚酰亞胺膜表面直接在空氣氛圍中產(chǎn)生多孔石墨烯，形成樣品；
2)將步驟1)中所制備的樣品固定在旋涂儀上，隨后將聚二甲基硅氧烷(PDMS)膠體覆蓋在樣品表面，然后靜置5-10分鐘使得聚二甲基硅氧烷充分滲入多孔石墨烯，接著控制旋涂儀以階梯速度運行，最后將樣品從旋涂儀上取下放入90℃烘箱中烘烤15分鐘；
3)多次重復(fù)步驟2)精確控制樣品上覆蓋旋涂的聚二甲基硅氧烷的厚度；
4)將步驟3)獲得的樣品放置于90℃烘箱中烘烤2小時；
5)最后將聚二甲基硅氧烷薄膜從聚酰亞胺膜上剝離，將圖案化的多孔石墨烯帶走轉(zhuǎn)移到聚二甲基硅氧烷薄膜上，得到柔性溫度傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于：所述步驟1)中，誘導(dǎo)光源的激光功率和掃描速度的調(diào)控范圍分別為1-30W和1-100mm/s。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于：所述步驟1)中，二氧化碳激光的波長10.6μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于：所述步驟1)中，聚酰亞胺膜的厚度50μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于：所述步驟2)中，旋涂儀以階梯速度運行具體是，控制旋涂儀速度為500rpm，持續(xù)時間6s，隨后再將速度增加到3000rpm，持續(xù)時間為10s。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激光加工法的柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于：所述步驟3)中，控制聚二甲基硅氧烷的厚度達到80-200微米。
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