[發(fā)明專利]時脈分配系統(tǒng)、集成電路裝置與時脈分配方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110301305.6 | 申請日： | 2021-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN114465605A | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 高章瑞;陳皇宇;陳勝雄;劉逸群;簡永溱;馬偉翔;王中興 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H03K5/15 | 分類號： | H03K5/15 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 分配 系統(tǒng) 集成電路 裝置 方法 | ||
一種時脈分配系統(tǒng)、集成電路裝置與時脈分配方法。時脈分配系統(tǒng)包括了時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，此時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包括了沿著第一軸延伸的多個第一金屬圖案、沿著第二軸延伸的多個第二金屬圖案、以及沿著第三軸延伸的多個第三金屬圖案。這些第一金屬圖案、第二金屬圖案及第三金屬圖案彼此電性連接。第二軸橫跨第一軸，并且第三軸傾斜于第一軸與第二軸。
技術(shù)領(lǐng)域
本揭露是有關(guān)于用于時脈分配系統(tǒng)的金屬圖案設(shè)計，以及相關(guān)的集成電路裝置與時脈分配方法。
背景技術(shù)
集成電路(integrated circuit，IC)裝置的復(fù)雜性不斷增加，并且通常以增加的時脈頻率運(yùn)作，同時降低功耗和/或電壓。在此類IC裝置中提供準(zhǔn)確的時脈信號是設(shè)計上的關(guān)注點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容
本揭露提出一種時脈分配系統(tǒng)，包括一時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，此時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包括多個第一金屬圖案，沿著第一軸延伸；多個第二金屬圖案，沿著第二軸延伸；以及多個第三金屬圖案，沿著第三軸延伸。這些第一金屬圖案、第二金屬圖案及第三金屬圖案彼此電性連接。第二軸橫跨第一軸。第三軸傾斜于第一軸與第二軸。
本揭露也提出一種集成電路裝置，包括基底、基底上的電路區(qū)以及電性耦接電路區(qū)且設(shè)置其上的時脈分派系統(tǒng)。電路區(qū)包括沿著第一軸延伸的至少一主動區(qū)、跨越主動區(qū)且沿著第二軸延伸的柵極區(qū)，其中第二軸橫跨第一軸。時脈分配系統(tǒng)用以提供時脈信號給電路區(qū)，時脈分配系統(tǒng)包括在第一金屬層的至少一第一金屬圖案，第一金屬層在電路區(qū)之上，第一金屬圖案傾斜于第一軸與第二軸。時脈分配系統(tǒng)還包括在第二金屬層的至少一第二金屬圖案，第二金屬層在電路區(qū)之上，第二金屬圖案橫跨于第一金屬圖案且傾斜于第一軸與第二軸。
本揭露也提出一種方法，包括：在一基底上形成一電路區(qū)，此電路區(qū)包括沿著第一軸延伸的多個主動區(qū)，以及沿著第二軸延伸跨越主動區(qū)的多個柵極區(qū)，其中第二軸橫跨于第一軸；在電路區(qū)上形成多個金屬圖案，將這些金屬圖案電性耦接以形成時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，其中時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包括多個多邊形區(qū)域，這些多邊形區(qū)域以重復(fù)的方式排列且彼此鄰接，每個多邊形區(qū)域在其中包括上述金屬圖案的至少一個金屬圖案，此金屬圖案傾斜于第一軸與第二軸。
附圖說明
當(dāng)結(jié)合附圖閱讀時，根據(jù)下面詳細(xì)的描述可以更好地理解本揭露的態(tài)樣。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是，根據(jù)工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)作法，各種特征并沒有按比例繪示。實(shí)際上，為了清楚的討論，各種特征可以被任意增大或縮小。
圖1是根據(jù)一些實(shí)施例繪示用于IC裝置的時脈分配系統(tǒng)100的示意圖；
圖2A是根據(jù)一些實(shí)施例繪示IC裝置的布局示意圖；
圖2B至圖2E是根據(jù)一些實(shí)施例繪示IC裝置的各個部分的剖面示意圖；
圖3至圖7是根據(jù)一些實(shí)施例繪示用于IC裝置的時脈網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的布局示意圖；
圖8A～8B、9A～9B、10A～10B、11A～11B、12A～12C是根據(jù)一些實(shí)施例繪示各種時脈樹的布局示意圖；
圖13是根據(jù)一些實(shí)施例繪示IC裝置的布局示意圖；
圖14是根據(jù)一些實(shí)施例繪示一方法的流程圖；
圖15是根據(jù)一些實(shí)施例繪示電子設(shè)計自動化(EDA)系統(tǒng)的方塊圖；
圖16是根據(jù)一些實(shí)施例繪示集成電路(IC)制造系統(tǒng)的方塊圖以及相關(guān)的IC制造流程。
【符號說明】
100:時脈分派系統(tǒng)
102:時脈源
104:時脈信號
110～119:時脈驅(qū)動器
120:網(wǎng)格前時脈樹
121:上層
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