[發(fā)明專利]MEMS器件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110298415.1 | 申請日： | 2021-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN112798820B | 公開（公告）日： | 2021-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李森科·伊戈?duì)枴と~夫根耶維奇;吳剛;徐寶;徐元 | 申請（專利權(quán)）人： | 杭州麥新敏微科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | G01P15/08 | 分類號： | G01P15/08;G01C21/18 |
| 代理公司： | 杭州創(chuàng)智卓英知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33324 | 代理人： | 張超 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市濱江區(qū)浦*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mems 器件 | ||
1.一種MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件包括：
檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1），包括第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)，其中，所述第一側(cè)和所述第三側(cè)相對，所述第二側(cè)和所述第四側(cè)相對；
第一感測梳（2），設(shè)為兩組，一一對應(yīng)設(shè)置于所述第一側(cè)和所述第三側(cè)，每組所述第一感測梳（2）包括多個(gè)第一可移感測梳齒（21）、集成多個(gè)所述第一可移感測梳齒（21）的第一可移框架（22）、多個(gè)第一固定感測梳齒（23）以及集成多個(gè)所述第一固定感測梳齒（23）的第一固定框架（24），所述第一可移感測梳齒（21）和所述第一固定感測梳齒（23）相互交叉形成叉指結(jié)構(gòu)，并沿著所述第一側(cè)的長度方向延伸，其中，所述第一固定感測梳齒（23）和/或所述第一固定框架（24）固定在第一襯底（5）上，所述第一可移框架（22）與所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）通過彈性懸架（8）彈性連接；
第二感測梳（3），設(shè)為一組或多組，分布于所述第二側(cè)和/或所述第四側(cè)，每組所述第二感測梳（3）包括多個(gè)第二可移感測梳齒（31）、集成多個(gè)所述第二可移感測梳齒（31）的第二可移框架（32）、多個(gè)第二固定感測梳齒（33）以及集成多個(gè)所述第二固定感測梳齒（33）的第二固定框架（34），所述第二可移感測梳齒（31）和所述第二固定感測梳齒（33）相互交叉形成叉指結(jié)構(gòu)，并沿著垂直于所述第二側(cè)的長度方向延伸，其中，所述第二固定感測梳齒（33）和/或所述第二固定框架（34）固定在所述第一襯底（5）上，所述第二可移框架（32）與所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）通過所述彈性懸架（8）彈性連接；
驅(qū)動(dòng)梳（4），設(shè)為兩組，一一對應(yīng)設(shè)置于所述第二側(cè)和所述第四側(cè)，且所述驅(qū)動(dòng)梳（4）設(shè)置于所述第二感測梳（3）遠(yuǎn)離所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）的一側(cè)，每組所述驅(qū)動(dòng)梳（4）包括多個(gè)可移驅(qū)動(dòng)梳齒（41）、集成多個(gè)所述可移驅(qū)動(dòng)梳齒（41）的第三可移框架（42）、多個(gè)固定驅(qū)動(dòng)梳齒（43）以及集成多個(gè)所述固定驅(qū)動(dòng)梳齒（43）的第三固定框架（44），所述可移驅(qū)動(dòng)梳齒（41）和所述固定驅(qū)動(dòng)梳齒（43）相互交叉形成叉指結(jié)構(gòu)，并沿著垂直于所述第二側(cè)的長度方向延伸，其中，所述固定驅(qū)動(dòng)梳齒（43）和/或所述第三固定框架（44）固定在所述第一襯底（5）上，所述第三可移框架（42）連接所述第二可移框架（32），或者所述第三可移框架（42）與所述第二可移框架（32）呈一體式結(jié)構(gòu)；
讀出電路（9），包括驅(qū)動(dòng)模塊（91）和校準(zhǔn)模塊（95），所述校準(zhǔn)模塊（95）在所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）上施加具有第一頻率的第一交流調(diào)制電壓，所述驅(qū)動(dòng)模塊（91）在所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）上施加直流驅(qū)動(dòng)電壓，并在所述第三固定框架（44）上施加交流驅(qū)動(dòng)電壓，使得所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）以振蕩方式移動(dòng)，所述校準(zhǔn)模塊（95）連接所述第二固定框架（34）并將所述第二固定框架（34）的第二電容變化信號轉(zhuǎn)化成第二電壓信號，所述校準(zhǔn)模塊（95）在所述第一頻率下解調(diào)所述第二電壓信號，并根據(jù)所述第二電壓信號控制所述交流驅(qū)動(dòng)電壓的頻率、相位角和幅值。
3.如權(quán)利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件還包括多個(gè)錨點(diǎn)（7），多個(gè)所述錨點(diǎn)（7）均固定在所述第一襯底（5）上，所述第一可移框架（22）和所述第二可移框架（32）均與一個(gè)或多個(gè)所述錨點(diǎn)（7）通過所述彈性懸架（8）彈性連接，其中，多個(gè)所述錨點(diǎn)（7）包括第一錨點(diǎn)（71）和第二錨點(diǎn)（72），所述第一錨點(diǎn)（71）設(shè)置于所述第一感測梳（2）遠(yuǎn)離所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）的一側(cè)，且所述第一錨點(diǎn)（71）與所述第一可移框架（22）通過所述彈性懸架（8）彈性連接，所述第二錨點(diǎn)（72）設(shè)置在所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）的頂角處，且所述第二錨點(diǎn)（72）與所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊（1）存在間隙。
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