[發(fā)明專(zhuān)利]一種測(cè)試結(jié)構(gòu)和測(cè)試方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110298404.3
• 申請(qǐng)日: 2021-03-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113097085A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊盛瑋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 劉戀;張穎玲

1.一種測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：源測(cè)量單元和測(cè)試單元；其中，

所述源測(cè)量單元包括電壓產(chǎn)生單元和電流檢測(cè)單元；所述電壓產(chǎn)生單元用于向所述測(cè)試單元施加測(cè)試電壓，所述電流檢測(cè)單元用于測(cè)量所述測(cè)試單元的擊穿電流；測(cè)量到所述擊穿電流時(shí)，停止施加測(cè)試電壓；未測(cè)量到所述擊穿電流時(shí)，繼續(xù)施加測(cè)試電壓，以引起多次電介質(zhì)軟擊穿；其中，所述測(cè)試電壓小于電介質(zhì)硬擊穿電壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述測(cè)試單元包括：電阻器和示波器單元；其中，

所述示波器單元與所述電阻并聯(lián)連接，所述示波器單元用于測(cè)量由所述擊穿電流引起所述電阻上的電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述示波器單元以第一頻率測(cè)量所述電阻的電壓；

所述電流檢測(cè)單元以第二頻率測(cè)量所述測(cè)試單元的擊穿電流；

所述第一頻率大于所述第二頻率。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述電阻的阻值小于電介質(zhì)測(cè)試樣本未電介質(zhì)軟擊穿時(shí)的阻值。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述電阻的阻值范圍為50Ω-100Ω。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述測(cè)試單元的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述測(cè)試單元之間并聯(lián)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述源測(cè)量單元的功率小于等于1瓦。

8.一種測(cè)試方法，其特征在于，所述方法包括：

通過(guò)源測(cè)量單元中的電壓產(chǎn)生單元向測(cè)試單元施加測(cè)試電壓，并通過(guò)源測(cè)量單元中的電流檢測(cè)單元測(cè)量測(cè)試單元的擊穿電流；測(cè)量到所述擊穿電流時(shí)，停止施加測(cè)試電壓；未測(cè)量到所述擊穿電流時(shí)，繼續(xù)施加測(cè)試電壓，以引起多次電介質(zhì)軟擊穿；其中，所述測(cè)試電壓小于電介質(zhì)硬擊穿電壓；

測(cè)量所述測(cè)試單元中的電介質(zhì)測(cè)試樣本的電流-時(shí)間曲線(xiàn)，以得到對(duì)應(yīng)于電介質(zhì)測(cè)試樣本的多次電介質(zhì)軟擊穿的多個(gè)擊穿時(shí)間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)試方法，其特征在于，所述方法還包括：

通過(guò)所述測(cè)試單元中的示波器單元測(cè)量由所述擊穿電流引起所述測(cè)試單元中的電阻上的電壓，得到所述電阻的電壓-時(shí)間曲線(xiàn)；

通過(guò)所述電阻的電壓-時(shí)間曲線(xiàn)，得到對(duì)應(yīng)于電介質(zhì)測(cè)試樣本的多次電介質(zhì)軟擊穿的多個(gè)擊穿時(shí)間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的測(cè)試方法，其特征在于，

所述示波器單元以第一頻率測(cè)量所述電阻的電壓；

所述電流檢測(cè)單元以第二頻率測(cè)量所述測(cè)試單元的擊穿電流；

所述第一頻率大于所述第二頻率。