[發明專利]一種自動設置調頻邊界的方法和射頻電源有效
| 申請號： | 202110296477.9 | 申請日： | 2021-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN113065237B | 公開（公告）日： | 2022-11-08 |
| 發明（設計）人： | 邱文杰;劉洋;黃陽 | 申請（專利權）人： | 四川英杰電氣股份有限公司 |
| 主分類號： | G06F30/20 | 分類號： | G06F30/20;G06F17/16;H01J37/32 |
| 代理公司： | 四川力久律師事務所 51221 | 代理人： | 韓洋 |
| 地址： | 618000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自動 設置 調頻 邊界 方法 射頻 電源 | ||
1.一種自動設置調頻邊界的方法，其特征在于，包括以下步驟，
步驟1，構建負載頻率關系函數；
步驟2，求得使所述負載頻率關系函數的值小于零的頻率范圍，所述頻率范圍的邊界即調頻邊界；
步驟3，在所述調頻邊界內進行頻率微調，查找匹配頻率；
所述構建負載頻率關系函數包括以下步驟，
步驟11，在帶寬內以指定間隔的頻率對輸出電壓的幅值和相位以及輸出電流的幅值和相位進行跳頻采樣；
步驟12，由所述電壓、電流的采樣值，得到負載阻抗的降階模型參數矩陣；
步驟13，由所述負載阻抗的降階模型參數矩陣，得到負載模型幅頻曲線多項式方程；
步驟14，對所述負載模型幅頻曲線多項式方程進行偏導求解，得到負載阻抗關于頻率的導函數，所述負載阻抗關于頻率的導函數即為所述負載頻率關系函數；
其中，步驟12具體包括以下步驟，
步驟121，將所述電壓、電流的采樣值轉換為電壓的矩陣X和電流的矩陣Y，負載阻抗的降階模型參數矩陣A與矩陣X、矩陣Y的關系為Y＝XA；
步驟122，求解最接近真實的負載阻抗的降階模型參數矩陣將計算出的作為所述負載阻抗的降階模型參數矩陣。
2.如權利要求1所述的一種自動設置調頻邊界的方法，其特征在于，在步驟122中，所述最接近真實的負載阻抗的降階模型參數矩陣的計算公式為：其中XT表示矩陣X的轉置。
3.如權利要求1所述的一種自動設置調頻邊界的方法，其特征在于，在所述調頻邊界內，利用矢量值電抗來確定頻率調諧的方向。
4.如權利要求3所述的一種自動設置調頻邊界的方法，其特征在于，利用矢量值電抗來確定頻率調諧的方向的具體方法為，由輸出電壓的幅值和相位得到復電壓，由輸出電流的幅值和相位得到復電流，用復電壓除以復電流得到阻抗，阻抗的虛部即為電抗，當電抗為正時，增大頻率，當電抗為負時，減小頻率。
5.如權利要求1所述的一種自動設置調頻邊界的方法，其特征在于，所述進行頻率微調查找匹配頻率的方法為使用預設的微調步長進行掃頻，當阻抗匹配時的頻率即為匹配頻率。
6.一種自動設置調頻邊界的射頻電源，其特征在于，執行如權利要求1至5任一項所述的自動設置調頻邊界的方法。
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