[發(fā)明專利]一種顯示基板、其制作方法及顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110295178.3
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113161396B
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李杰;張偉;李澤亮;李振東;方飛
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;重慶京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H10K59/131
• 分類號: H10K59/131;H10K50/844;H10K71/00
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 劉源

1.一種顯示基板，其特征在于，包括：

襯底基板；

第一導(dǎo)電層，位于所述襯底基板之上；

第一絕緣層，位于所述第一導(dǎo)電層背離所述襯底基板的一側(cè)，且所述第一絕緣層具有第一開口；

第二導(dǎo)電層，所述第二導(dǎo)電層通過所述第一開口與所述第一導(dǎo)電層連接，所述第二導(dǎo)電層包括第一部分和第二部分，其中，所述第一部分位于所述第一開口內(nèi)，所述第二部分在所述第一開口外且位于所述第一絕緣層背離所述襯底基板的一側(cè)；

無機(jī)保護(hù)層，至少包括位于所述第二部分與所述第一絕緣層之間的第一無機(jī)保護(hù)層部分；在垂直于所述襯底基板的方向上，所述第一無機(jī)保護(hù)層部分的厚度h₁與所述第二部分的厚度h₂滿足以下關(guān)系：

h₂=K*h₁，其中，12≤K≤18；

其中，所述無機(jī)保護(hù)層還包括第三無機(jī)保護(hù)層部分，所述第三無機(jī)保護(hù)層部分位于所述第一絕緣層背離所述襯底基板的一側(cè)，且所述第三無機(jī)保護(hù)層部分位于所述第一無機(jī)保護(hù)層部分遠(yuǎn)離所述第一開口的一側(cè)；在垂直于所述襯底基板的方向上，所述第三無機(jī)保護(hù)層部分的厚度小于所述第一無機(jī)保護(hù)層部分的厚度。

2.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第一無機(jī)保護(hù)層部分遠(yuǎn)離所述第一開口一側(cè)的邊緣在所述襯底基板的正投影，位于所述第二部分遠(yuǎn)離所述第一開口一側(cè)的邊緣在所述襯底基板的正投影遠(yuǎn)離所述第一開口的一側(cè)。

3.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述無機(jī)保護(hù)層還包括第二無機(jī)保護(hù)層部分，所述第二無機(jī)保護(hù)層部分搭接在所述第一絕緣層靠近所述第一開口的側(cè)面上。

4.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，400?≤h₁≤600?，5000?≤h₂≤10000?。

5.如權(quán)利要求1-4任一項所述的顯示基板，其特征在于，所述第二導(dǎo)電層的材料包括鋁元素。

6.如權(quán)利要求1-4任一項所述的顯示基板，其特征在于，所述第一絕緣層的材料包括有機(jī)絕緣材料。

7.一種顯示基板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一個襯底基板；

在所述襯底基板上形成第一導(dǎo)電層的圖案；

在所述第一導(dǎo)電層的圖案上形成具有第一開口的第一絕緣層；

采用制作第一絕緣層的掩膜板，在所述第一絕緣層上制作無機(jī)保護(hù)層，所述無機(jī)保護(hù)層至少包括第一無機(jī)保護(hù)層部分，所述第一無機(jī)保護(hù)層部分與所述第一開口互不交疊；

在所述無機(jī)保護(hù)層上形成第二導(dǎo)電層的圖案，其中，所述第二導(dǎo)電層的圖案包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第一開口內(nèi)，所述第二部分在所述第一開口外且位于所述第一絕緣層背離所述襯底基板的一側(cè)，所述第二導(dǎo)電層的圖案通過所述第一開口與所述第一導(dǎo)電層的圖案連接，且在垂直于所述襯底基板的方向上，所述第二部分的厚度h₂與所述第一無機(jī)保護(hù)層部分的厚度h₁滿足以下關(guān)系：

h₂=K*h₁，其中，12≤K≤18；

其中，在所述無機(jī)保護(hù)層還包括第三無機(jī)保護(hù)層部分，所述第三無機(jī)保護(hù)層部分位于所述第一絕緣層背離所述襯底基板的一側(cè)，且所述第三無機(jī)保護(hù)層部分位于所述第一無機(jī)保護(hù)層部分遠(yuǎn)離所述第一開口的一側(cè)；在垂直于所述襯底基板的方向上，所述第三無機(jī)保護(hù)層部分的厚度小于所述第一無機(jī)保護(hù)層部分的厚度。

8.如權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述無機(jī)保護(hù)層上形成第二導(dǎo)電層的圖案，具體包括：

采用干法刻蝕工藝，在所述無機(jī)保護(hù)層上形成第二導(dǎo)電層的圖案；

在所述無機(jī)保護(hù)層上形成第二導(dǎo)電層的圖案之后，還包括：

采用CF₄與O₂去除所述干法刻蝕工藝過程中殘留的Cl₂，以及未被所述第二導(dǎo)電層的圖案遮擋的a-Si材質(zhì)的所述無機(jī)保護(hù)層。

9.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-6任一項所述的顯示基板。