[發明專利]照明系統及檢測設備

在審

• 申請號: 202110295100.1
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113049598A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 陳魯;左天成;張鵬斌;劉健鵬;范鐸;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 邵泳城

本申請提供一種照明系統及檢測設備。照明系統包括至少一個光源裝置。光源裝置包括導光件及整形件。導光件用于接收及傳導光線。整形件與導光件的出光面之間的距離的取值范圍為[15mm，20mm]，整形件用于接收來自導光件的光線并將經過整形件的光線整形，并出射至工件。本申請的照明系統及檢測設備中，整形件與導光件的出光面之間的距離的取值范圍為[15mm，20mm]，如此，依次經過導光件及整形件后出射的光線的集中程度較高，在光線集中區域的光線能量的均一性較高，能量利用率較高，以能夠減少缺陷的漏檢。

技術領域

本申請涉及檢測技術領域，特別涉及一種照明系統及檢測設備。

背景技術

暗場照明作為明場照明的補充，在光學檢測尤其是半導體(例如晶圓)缺陷檢測上有著廣泛的應用。一般的環形暗場照明形成的圓形光斑的能量利用率就十分低。如果用高亮的線性光源，雖然能量利用率可以提高，但是相比于環形光源，線性照明光源的角度單一，且照明光的能量均一性難以得到保證，會使得被測物很多細節不能得到體現，尤其一些帶有鏡面反射的微結構被測物的細節難以被檢測到，從而產生漏檢。

發明內容

本申請實施方式提供一種照明系統及檢測設備。

本申請實施方式的照明系統包括至少一個光源裝置。所述光源裝置包括導光件及整形件。所述導光件用于接收及傳導光線。所述整形件與所述導光件的出光面之間的距離的取值范圍為[15mm，20mm]，所述整形件用于接收來自所述導光件的光線并將經過所述整形件的光線整形，并出射至工件。

在某些實施方式中，所述光源裝置的數量為多個，多個所述光源裝置用于提供多路光線至所述工件，多個所述光源裝置環繞所述工件的中心的法線均勻分布。

在某些實施方式中，根據權利要求1所述的照明系統，其特征在于，所述光源裝置的數量為四個，在以所述工件的中心的法線為中心軸的圓周上，每個所述光源裝置依次間隔90°沿所述圓周分布。

在某些實施方式中，每個所述光源裝置提供的光線在所述工件形成的光斑至少部分重合；或每個所述光源裝置提供的光線在所述工件形成的光斑完全重合。

在某些實施方式中，平行于所述出光面的長軸并經過所述出光面的中心的第一平面與所述工件的法平面之間的夾角范圍為[60°，80°]。

在某些實施方式中，多個所述光源裝置提供的光線在所述工件形成的光斑包括內接的矩形區域，所述矩形區域的長邊的取值范圍為[20mm，40mm]，短邊的取值范圍為[2mm，8mm]。

在某些實施方式中，所述出光面的中心與所述工件的中心之間的距離的取值范圍為[100mm，140mm]。

在某些實施方式中，所述出光面的長軸的長度的取值范圍為[10mm，50mm]。

在某些實施方式中，所述導光件包括光纖。

在某些實施方式中，所述整形件包括柱面鏡。

在某些實施方式中，所述出光面呈長方形、橢圓形、圓形、正方形中的至少一種。

本申請實施方式的檢測設備包括照明系統及上述任一實施方式的檢測裝置，在所述照明系統照射工件時，所述檢測裝置用于檢測所述工件。

本申請的照明系統及檢測設備中，整形件與導光件的出光面之間的距離的取值范圍為[15mm，20mm]，如此，依次經過導光件及整形件后出射的光線的集中程度較高，在光線集中區域的光線能量的均一性較高，能量利用率較高，以能夠減少缺陷的漏檢。

附圖說明

本申請的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施方式的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是本申請某些實施方式的照明系統的結構示意圖；