[發(fā)明專利]一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2 在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110294341.4 | 申請日： | 2021-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN113058598A | 公開（公告）日： | 2021-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張桂臻;徐亞蒙;何洪;何澤源;李淑貞 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | B01J23/63 | 分類號： | B01J23/63;B01D53/94;B01D53/62;B01D53/72;B01D53/56 |
| 代理公司： | 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203 | 代理人： | 張立改 |
| 地址： | 100124 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 改進(jìn) ald 方法 沉積 ceo base sub | ||
1.一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2，其特征在于，包括以下步驟：
(1)在手套箱的惰性氣體氛圍下取出一定量二氧化鈰前驅(qū)體四(四甲基庚二酮)鈰與Pd/Al2O3催化劑混合放入聚四氟乙烯內(nèi)襯中；
(2)將步驟(1)中混合好的處于密封狀態(tài)的催化劑放置于180℃的烘箱中，反應(yīng)15min；
(3)將步驟(2)中反應(yīng)后的催化劑倒入瓷舟中，然后放入馬弗爐焙燒；
(4)以上三個步驟為一個循環(huán)，即步驟(1)的催化劑與二氧化鈰前驅(qū)體的混合-步驟(3)的馬弗爐焙燒煅燒為一個循環(huán)，根據(jù)實驗需求重復(fù)循環(huán)數(shù)來重復(fù)以上步驟獲得不同厚度的CeO2。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2，其特征在于，上述步驟(1)中稱取的二氧化鈰前驅(qū)體質(zhì)量為5.6mg-11.2mg，稱取的Pd/Al2O3為1g，所用的聚四氟乙烯內(nèi)襯為100mL容積。
3.按照權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2，其特征在于，上述步驟(2)中烘箱加熱的條件為：以5℃/min的速率從室溫升至180℃，保溫15min。
4.按照權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2，其特征在于，上述步驟(3)中的焙燒條件為：從室溫升至400℃，保溫15min，升溫速率為5℃/min。
5.按照權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2，其特征在于，上述步驟(4)中本實驗所用循環(huán)數(shù)為10，即重復(fù)以上步驟10次。
6.按照權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的ALD方法沉積CeO2，其特征在于，上述步驟中Pd/Al2O3催化劑中Pd的含量為1wt％。
7.按照權(quán)利要求1-6任一項所述的方法制備的催化Pd/Al2O3@CeO2。
8.按照權(quán)利要求1-6任一項所述的方法制備的催化劑Pd/Al2O3@CeO2的應(yīng)用，用于三效催化劑，具有優(yōu)良的高溫?zé)岱€(wěn)定性。
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