[發明專利]點火裝置和半導體設備

有效

• 申請號: 202110292130.7
• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN113091055B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 王立卡;石磊
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F23D14/02
• 分類號: F23D14/02;F23D14/46;F23D14/60;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市嘉勤知識產權代理有限公司 44651
• 代理人: 何龍其

1.一種點火裝置，用于向半導體設備的反應腔室輸送反應氣體，其特征在于，包括：

點火腔室；

第一進氣管，具有第一出氣口，所述第一出氣口與所述點火腔室連通，用于向所述點火腔室內通入第一氣體；

第二進氣管，具有第二出氣口，所述第二出氣口與所述點火腔室連通，用于向所述點火腔室內通入第二氣體，所述第一出氣口與所述第二出氣口相對設置，使得通入所述點火腔室內的第一氣體和第二氣體形成對沖氣流，在氣流結合面處混合，并沿結合面向外擴散；

加熱器，所述加熱器的加熱元件至少圍繞所述第一進氣管和所述第二進氣管靠近所述點火腔室一端的部分長度的外壁設置，用于將通入點火腔室內的第一氣體和第二氣體加熱至點火溫度；

排氣管，連通至所述點火腔室，用于將所述點火腔室內點火產生的反應氣體輸送至反應腔室；

所述點火腔室為圓柱體，具有圓形且相對的兩個底面；所述第一進氣管和所述第二進氣管，分別從相對的兩個所述底面的圓心處插入所述點火腔室內。

2.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，所述第一出氣口和所述第二出氣口在垂直于出氣方向的平面內的投影至少部分重疊。

3.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，所述第一出氣口和所述第二出氣口之間的距離范圍為10mm～100mm。

4.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，所述加熱器還包括保溫層，所述保溫層包裹于所述點火腔室的外周以及所述加熱元件的外周。

5.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，還包括：測溫元件，所述測溫元件的檢測端設置于所述點火腔室內，用于檢測所述點火腔室的內部溫度。

6.根據權利要求5所述的點火裝置，其特征在于，所述測溫元件的檢測端設置位于所述第一和/或第二出氣口旁側。

7.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，還包括：管路保溫套，包裹于所述排氣管外壁。

8.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，還包括：冷卻裝置，至少設置于所述加熱器的部分外壁處。

9.根據權利要求8所述的點火裝置，其特征在于，還包括：固定板，所述固定板圍成一兩端具有開口的空腔，所述冷卻裝置位于所述空腔兩端的開口處，與所述固定板固定連接；所述加熱器設置于所述固定板與冷卻裝置圍成的空腔內。

10.根據權利要求9所述的點火裝置，其特征在于，所述冷卻裝置包括水冷板，所述水冷板內具有用于容納冷卻液的空腔或管道。

11.根據權利要求9所述的點火裝置，其特征在于，還包括：柔性保溫套，至少包裹所述加熱器朝向所述固定板的表面，位于所述加熱器與所述固定板之間。

12.根據權利要求1所述的點火裝置，其特征在于，還包括：第三進氣管，與所述點火腔室連通，用于向所述點火腔室通入吹掃氣體。

13.一種半導體設備，其特征在于，包括：

如權利要求1至12中任一項所述的點火裝置；

反應腔室；

所述點火裝置的排氣管連通至所述反應腔室，用于將所述點火腔室內點火產生的反應氣體輸送至所述反應腔室。