[發明專利]基于半導體附屬設備的信息采集監控系統

在審

• 申請號: 202110292034.2
• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN113093637A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 楊春濤;張坤;楊春水;蔡傳濤;席濤濤;寧騰飛;王繼飛;閆瀟;章文軍;陳彥崗
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 吳歡燕

本發明涉及半導體生產技術領域，尤其涉及一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，包括服務器、警報裝置和多個附屬設備，每個附屬設備均包括控制器，各控制器均與服務器連接，服務器與警報裝置連接，控制器用于采集附屬設備的信息，服務器用于儲存并處理信息，警報裝置根據服務器發送的信息進行警報?？刂破魍ㄟ^網絡將采集到的信息數據傳輸到服務器中進行數據存儲，警報裝置通過與服務器通訊，服務器將報警數據發送給警報裝置，警報裝置發出報警，以此實現對附屬設備的實時數據監控、報警事件監控和處理、歷史數據查詢。針對設備報警事件，可以通知到工作人員，使工作人員第一時間了解到設備發生故障，及時處理問題設備，快速復機保證生產。

技術領域

本發明涉及半導體生產技術領域，尤其涉及一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統。

背景技術

在半導體制造過程中會用到許多的單機附屬設備，例如半導體廢氣處理裝置、溫控裝置等，這類設備用量大，大部分都是本地單機控制，如果出現故障會影響半導體生產線的正常生產，所以需要大量的售后工程師進行日常巡視檢查，確保設備在正常運行，對設備數據進行記錄與分析，研究數據曲線，判斷設備是否有異常的風險。由于附屬設備數量眾多，需要投入更多的人力去完成這項工作，大大增加了人工成本，而且日常巡檢，只能每個設備記錄一組數據，采樣數量小。設備發生報警時，只能售后工程師在現場時才可以發現，發現問題的時效性差，同時影響了復機的反應速度。

發明內容

本發明提供一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，用以解決現有技術中對于附屬設備的檢查報警是通過人力完成，人工成本高而且發現問題時效性差的缺陷，實現對附屬設備的實時數據監控、報警事件監控和處理、歷史數據查詢。針對設備報警事件，可以通知到工作人員，使工作人員第一時間了解到設備發生故障，及時處理問題設備，快速復機保證生產。

本發明提供一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，包括服務器、警報裝置和多個附屬設備，每個所述附屬設備均包括控制器，各所述控制器均與所述服務器連接，所述服務器與所述警報裝置連接，所述控制器用于采集所述附屬設備的信息，所述服務器用于儲存并處理所述信息，所述警報裝置根據所述服務器發送的信息進行警報。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述控制器與所述服務器通過交換機連接。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述服務器通過OPC軟件與每個所述控制器應用TCP/IP協議通訊進行信息交換。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述警報裝置通過Modbus-RTU轉TCP/IP的網關與所述服務器進行通訊。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述警報裝置內設置終端信息發送元件，用于發送警報信息至終端設備。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，還包括工作站，所述工作站與所述服務器連接，用于獲取服務器內存儲的所述信息。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述服務器為OPC服務器。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述控制器為PLC。

根據本發明提供的一種基于半導體附屬設備的信息采集監控系統，所述附屬設備內設有傳感器和閥體，所述控制器采集所述傳感器的信息控制所述閥體。