[發(fā)明專利]批量化涂膜設(shè)備及批量化涂膜方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110291066.0
• 申請(qǐng)日: 2021-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN115106245A
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李運(yùn)峰;夏斌;韓明松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳硅基傳感科技有限公司
• 主分類號(hào): B05C3/10
• 分類號(hào): B05C3/10;B05C11/10;B05C13/02
• 代理公司: 深圳舍穆專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44398
• 代理人: 邱爽

1.一種提高一致性的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于，

包括固定機(jī)構(gòu)、盛液機(jī)構(gòu)、注液機(jī)構(gòu)和控制裝置；所述固定機(jī)構(gòu)具有用于固定待涂膜工件的多個(gè)固定部；所述盛液機(jī)構(gòu)具有并排布置且用于盛裝涂膜液的形狀相同的多個(gè)液槽，所述液槽包括具有容納空間的槽體部和與所述槽體部連接的開口部，所述開口部的橫截面積大于所述槽體部的橫截面積，所述盛液機(jī)構(gòu)與所述固定機(jī)構(gòu)可相對(duì)移動(dòng)；所述注液機(jī)構(gòu)具有用于容納涂膜液的儲(chǔ)液部以及與所述儲(chǔ)液部連通并用于供應(yīng)涂膜液的輸注部，所述注液機(jī)構(gòu)與所述盛液機(jī)構(gòu)可相對(duì)移動(dòng)；所述控制裝置被配置為至少控制所述固定機(jī)構(gòu)與所述盛液機(jī)構(gòu)之間的相對(duì)移動(dòng)、以及所述盛液機(jī)構(gòu)與所述注液機(jī)構(gòu)之間的相對(duì)移動(dòng)，并控制所述注液機(jī)構(gòu)經(jīng)由所述輸注部供應(yīng)涂膜液；對(duì)固定于所述固定機(jī)構(gòu)的待涂膜工件進(jìn)行涂膜時(shí)，所述控制裝置控制所述注液機(jī)構(gòu)與所述盛液機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)以使所述輸注部對(duì)準(zhǔn)所述液槽并控制所述輸注部向所述液槽中供應(yīng)預(yù)定體積的涂膜液；并且所述控制裝置控制所述盛液機(jī)構(gòu)與所述固定機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)以使固定于所述固定機(jī)構(gòu)的待涂膜工件浸入所述液槽中的涂膜液并從所述液槽中的涂膜液離開，從而在待涂膜工件上形成預(yù)定厚度的涂覆膜。

2.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述預(yù)定體積不大于所述容納空間的容積，并且所述預(yù)定體積小于或等于100μL。

3.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述開口部呈由上端至下端漸縮的漏斗狀，所述槽體部連接于所述開口部的下端。

4.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述槽體部包括主體區(qū)和底區(qū)，所述主體區(qū)為圓柱狀，所述底區(qū)為半球狀。

5.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述盛液機(jī)構(gòu)的多個(gè)液槽呈陣列式布置。

6.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

還包括注液室和涂膜室，在所述注液室中，所述注液機(jī)構(gòu)向所述盛液機(jī)構(gòu)供應(yīng)涂膜液，在所述涂膜室中，固定于所述固定機(jī)構(gòu)的待涂膜工件浸入所述液槽中的涂膜液。

7.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述注液機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在所述儲(chǔ)液部?jī)?nèi)且可沿著所述儲(chǔ)液部的長(zhǎng)度方向移動(dòng)的活塞，所述活塞與致動(dòng)部件連接，并且所述致動(dòng)部件致動(dòng)所述活塞沿著所述儲(chǔ)液部的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，所述致動(dòng)部件與所述控制裝置連接并且受所述控制裝置的控制，所述控制裝置控制所述致動(dòng)部件的致動(dòng)距離和致動(dòng)方向以經(jīng)由所述輸注部向所述液槽供應(yīng)預(yù)定體積的涂膜液。

8.如權(quán)利要求1所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述待涂膜工件具有大致位于同一平面且依次連接的第一固定區(qū)、第二固定區(qū)和待涂覆涂膜液的待涂區(qū)，所述第一固定區(qū)和所述第二固定區(qū)呈片狀，所述待涂區(qū)呈針狀。

9.如權(quán)利要求8所述的批量化涂膜設(shè)備，其特征在于：

所述固定部具有與所述第一固定區(qū)適配的第一限位槽以及與所述第二固定區(qū)適配的第二限位槽，所述第一限位槽與所述第一固定區(qū)配合以在豎直方向上對(duì)所述待涂區(qū)進(jìn)行限位，所述第二限位槽與所述第二固定區(qū)配合以在水平方向上對(duì)所述待涂區(qū)進(jìn)行限位，從而將所述待涂區(qū)限制在預(yù)定位置。

10.一種提高一致性的批量化涂膜方法，其特征在于：

包括：準(zhǔn)備形狀相同的多個(gè)液槽，并向各個(gè)液槽中分別供應(yīng)預(yù)定體積的涂膜液；準(zhǔn)備多個(gè)待涂膜工件，同時(shí)將各個(gè)待涂膜工件分別浸入各個(gè)液槽中的涂膜液并從各個(gè)液槽中的涂膜液離開，各個(gè)待涂膜工件浸入涂膜液的深度一致，從而在各個(gè)待涂膜工件上形成預(yù)定厚度的涂覆膜；其中，所述液槽包括具有容納空間的槽體部和與所述槽體部連接的開口部，所述開口部的橫截面積大于所述槽體部的橫截面積。