[發(fā)明專利]用于通過多個帶電粒子細(xì)束來檢查樣品的帶電粒子束裝置

在審

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• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN113433148A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: P·斯泰斯卡爾;B·賽達(dá);P·赫拉溫卡;L·諾瓦克;J·斯托普卡
• 申請（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/203
• 分類號: G01N23/203;G01N23/20091;G01N23/22;G01N23/2206;G01N23/2209;G01N23/2254;H01J37/21
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張凌苗;周學(xué)斌

1.一種通過多個帶電粒子細(xì)束來檢查樣品的方法，所述方法包括以下步驟：

-提供樣品；

-提供多個帶電粒子細(xì)束并將所述多個帶電粒子細(xì)束聚焦到所述樣品上；

-檢測響應(yīng)于所述多個帶電粒子細(xì)束的所述輻照而從所述樣品發(fā)出的輻射通量；

其中所述多個帶電粒子細(xì)束聚焦到所述樣品上成為細(xì)束圖案，其中所述細(xì)束圖案包括多個間隔開的細(xì)束光點(diǎn)，且其中所述細(xì)束光點(diǎn)在第一方向上間隔開且相鄰細(xì)束光點(diǎn)之間的間隔構(gòu)成細(xì)束間光點(diǎn)距離；

其特征在于，所述方法包括以下步驟：

-使所述細(xì)束圖案在所述第一方向上移動且移動距離超過所述細(xì)束間光點(diǎn)距離而到達(dá)多個彼此不同的細(xì)束圖案位置，并檢測所述多個不同的細(xì)束圖案位置處相應(yīng)的輻射通量，

-將所述檢測到的關(guān)于所述彼此不同的細(xì)束圖案位置的輻射通量對應(yīng)至一個或多個樣品特征。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述檢測步驟至少包括電子背散射衍射技術(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中所述檢測步驟至少包括能量色散X射線光譜技術(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2和3所述的方法，其中所述檢測步驟包括電子背散射衍射技術(shù)和能量色散X射線光譜技術(shù)的聯(lián)用。

5.根據(jù)權(quán)利要求1到4所述的方法，其包括以下步驟：使所述多個細(xì)束光點(diǎn)在至少一個樣品特征上移動，并基于所述檢測到的通量重建所述樣品特征。

6.根據(jù)權(quán)利要求1到5所述的方法，其中所述樣品特征包括晶界。

7.根據(jù)權(quán)利要求1到6所述的方法，其中所述細(xì)束圖案包括至少三個細(xì)束光點(diǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1到7所述的方法，其包括在大體上正交于所述第一方向的第二方向上間隔開的多個細(xì)束圖案，以用于形成2D多細(xì)束陣列。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述2D多細(xì)束陣列包括至少九個細(xì)束光點(diǎn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1到9所述的方法，其包括以下步驟：使所述細(xì)束圖案以其細(xì)束光點(diǎn)大體上移動到特有樣品位置的方式在至少所述第一方向上在所述樣品上移動。

11.根據(jù)權(quán)利要求1到10所述的方法，其包括以下步驟：使所述細(xì)束圖案在大體上正交于所述第一方向的所述第二方向上移動。

12.根據(jù)權(quán)利要求1到11所述的方法，其中所述檢測步驟包括以下技術(shù)中的至少一種或多種：背散射電子檢測技術(shù)、二次電子檢測技術(shù)、陰極發(fā)光技術(shù)、STEM檢測技術(shù)。

13.一種通過多個帶電粒子細(xì)束來檢查樣品的帶電粒子束裝置，所述帶電粒子束裝置包括：

-樣品固持器，其用于固持樣品；

-用于產(chǎn)生帶電粒子束的源；

-照明器，其用于將所述帶電粒子束轉(zhuǎn)換成多個帶電粒子細(xì)束，并將所述多個帶電粒子細(xì)束聚焦到所述樣品上，其中所述多個帶電粒子細(xì)束聚焦到所述樣品上成為細(xì)束圖案，其中所述細(xì)束圖案包括多個間隔開的細(xì)束光點(diǎn)，且其中所述細(xì)束光點(diǎn)在第一方向上間隔開且相鄰細(xì)束光點(diǎn)之間的間隔構(gòu)成細(xì)束間光點(diǎn)距離；

-檢測器，其用于檢測響應(yīng)于所述多個帶電粒子細(xì)束的所述輻照而從所述樣品發(fā)出的輻射通量；

其特征在于，所述帶電粒子束裝置被布置成用于：

-使所述細(xì)束圖案在所述第一方向上移動且移動距離超過所述細(xì)束間光點(diǎn)距離而到達(dá)多個彼此不同的細(xì)束圖案位置，并檢測所述多個不同的細(xì)束圖案位置處相應(yīng)的輻射通量，

-將所述彼此不同的細(xì)束圖案位置的所述檢測到的通量對應(yīng)至一個或多個樣品特征。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的帶電粒子束裝置，其包括控制器，其中所述控制器被布置成用于與所述帶電粒子束裝置一起執(zhí)行根據(jù)前述權(quán)利要求1到12中的一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的方法。

15.一種非瞬時性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其具有存儲于其上的軟件指令，在處理器執(zhí)行所述軟件指令時使所述處理器生成用于控制帶電粒子束裝置以執(zhí)行根據(jù)前述權(quán)利要求1到12中的一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的方法的控制信號。