[發(fā)明專利]測試座及包含其的測試裝置、測試座的制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110287701.8 | 申請日： | 2021-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN113030708A | 公開（公告）日： | 2021-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳昌洙;金寶炫 | 申請（專利權(quán)）人： | TSE有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;G01R31/26;G01R1/04;G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鮮英;張敬強 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測試 包含 裝置 制造 方法 | ||
本發(fā)明的測試座涉及一種以電為媒介連接發(fā)生測試信號的測試器和具有端子的被檢查設(shè)備的測試座，其包括：非彈性導(dǎo)電外殼，由非彈性導(dǎo)電材料構(gòu)成，并具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔；絕緣涂層，涂覆在至少非彈性導(dǎo)電外殼的上面和多個外殼孔邊緣；及導(dǎo)電部，以在彈性絕緣物質(zhì)內(nèi)包含多個導(dǎo)電粒子的形式構(gòu)成，且被配置在外殼孔內(nèi)，以使下端部與放置在非彈性導(dǎo)電外殼的下側(cè)的測試器的信號電極聯(lián)接，上端部與放置在非彈性導(dǎo)電外殼的上側(cè)的被檢查設(shè)備的端子聯(lián)接，并通過絕緣涂層與非彈性導(dǎo)電外殼絕緣。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及測試座，更具體地涉及一種電連接被檢查設(shè)備和測試器的測試座及包含其的測試裝置、測試座的制造方法。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體封裝由微細(xì)電路高密度集成而形成，并在制造工藝中經(jīng)過與各個電路的正常與否的測試工藝。測試工藝是一種測試半導(dǎo)體封裝是否正常運轉(zhuǎn)而甄選合格產(chǎn)品和不合格產(chǎn)品的工藝。
在半導(dǎo)體封裝的測試中，利用電連接半導(dǎo)體封裝的端子和施加測試信號的測試器的測試裝置。測試裝置根據(jù)作為測試對象的半導(dǎo)體封裝的種類而具有各種結(jié)構(gòu)。測試裝置和半導(dǎo)體封裝并非相互直接聯(lián)接，而是通過測試座間接聯(lián)接。
測試座代表性的有探針測試座和橡膠測試座。其中，橡膠測試座具有配置使得在具有硅膠等彈力的材料的內(nèi)部，含有多個導(dǎo)電粒子的形式的導(dǎo)電部與由具有硅膠等彈力的材料構(gòu)成的絕緣部里側(cè)相互絕緣的結(jié)構(gòu)。該橡膠測試座未使用錫焊或彈簧等機械手段，而具有耐用性優(yōu)秀且能夠?qū)崿F(xiàn)簡單的電聯(lián)接的優(yōu)點，因而，最近被大量使用。
對于包含橡膠測試座類型的測試座的測試裝置，測試座的接觸沖程(contactstroke)量根據(jù)處于按壓半導(dǎo)體封裝的推送器的加壓部外圍的沖程限制器部和處于測試座的導(dǎo)電部外圍的限位器的垂直厚度、半導(dǎo)體封裝的厚度、測試座的高度等確定。
但現(xiàn)有的測試裝置因加上沖程限制器部的厚度公差、限位器的厚度公差、測試座的高度公差、半導(dǎo)體封裝的厚度公差而難以進(jìn)行精密的沖程控制。
并且，現(xiàn)有的橡膠測試座類型的測試座因絕緣部由非導(dǎo)電材料構(gòu)成，存在無法避免導(dǎo)電部之間的高頻率信號干擾，無法得到所需的阻抗而高頻率信號傳送特性低下的問題。
現(xiàn)有技術(shù)問題
【專利文獻(xiàn)】
(專利文獻(xiàn)0001)公開專利公報第2006-0062824號(2006.06.12)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問題
本發(fā)明基于如上所述的方面而研發(fā)，其目的在于提供一種測試座及包含其的測試裝置、測試座的制造方法，減少因被檢查設(shè)備的厚度公差等而導(dǎo)致沖程控制的困難，能夠進(jìn)行沖程的精密的控制，且高頻率信號傳送特性優(yōu)秀。
用于解決問題的技術(shù)方案
用于實現(xiàn)如上所述目的的本發(fā)明的測試座涉及一種以電為媒介連接發(fā)生測試信號的測試器和具有端子的被檢查設(shè)備的測試座，其包括：非彈性導(dǎo)電外殼，由非彈性導(dǎo)電材料構(gòu)成，并具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔；絕緣涂層，涂覆在至少所述非彈性導(dǎo)電外殼的上面和所述多個外殼孔邊緣；及導(dǎo)電部，以在彈性絕緣物質(zhì)內(nèi)包含多個導(dǎo)電粒子的形式構(gòu)成，且被配置在所述外殼孔內(nèi)，以使下端部與放置在所述非彈性導(dǎo)電外殼的下側(cè)的所述測試器的信號電極聯(lián)接，上端部與放置在所述非彈性導(dǎo)電外殼的上側(cè)的所述被檢查設(shè)備的端子聯(lián)接，并通過所述絕緣涂層與所述非彈性導(dǎo)電外殼絕緣。
所述絕緣涂層被涂覆在整個所述非彈性導(dǎo)電外殼。
所述絕緣涂層通過從聚對二甲苯涂覆、陽極氧化處理、聚四氟乙烯涂覆、液態(tài)硅涂覆中選擇的涂覆方法形成。
所述外殼孔包括：外殼下部孔，以恒定寬度從所述非彈性導(dǎo)電外殼的下面向上側(cè)延伸；外殼上部孔，以從所述非彈性導(dǎo)電外殼的上面趨向下側(cè)而寬度逐漸減小的形式形成，與所述外殼下部孔連接。
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