[發明專利]確定三維信息

有效

• 申請號: 202110287046.6
• 申請日: 2021-03-17
• 公開（公告）號: CN113405493B
• 公開（公告）日: 2023-10-24
• 發明（設計）人: A·黎凡特;R·比斯特里澤
• 申請（專利權）人: 應用材料以色列公司
• 主分類號: G01B15/04
• 分類號: G01B15/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張鑫

1.一種用于確定基板的結構元件的三維(3D)信息的方法，所述方法包括：

生成或接收所述基板的所述結構元件的一種或多種屬性，其中所述一種或多種屬性是基于所述結構元件的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像而確定的；

從多個模型中搜索相關模型，所述相關模型被估計為以至少預定精度預測所述基板的所述結構元件的所述3D信息；

當找到所述相關模型時，使用所述相關模型預測所述基板的所述結構元件的所述3D信息；以及

響應于未能找到所述相關模型。

2.根據權利要求1所述的方法，其中響應于所述失敗包括基于所述基板計算新模型。

3.根據權利要求1所述的方法，其中不同的模型代表不同類別的訓練基板。

4.根據權利要求3所述的方法，所述方法包括通過應用分類過程對所述不同的訓練基板進行分類。

5.根據權利要求3所述的方法，其中所述分類至少部分地基于與所述不同的訓練基板有關的制造信息。

6.根據權利要求1所述的方法，其中某一模型代表能相互預測的某一類別的訓練基板。

7.根據權利要求6所述的方法，所述方法包括驗證將所述訓練基板包括在所述某一類別的訓練基板中。

8.根據權利要求1所述的方法，其中所述搜索包括基于(a)所述基板的所述結構元件的所述一種或多種屬性與(b)與所述多個模型中的至少一些模型中的每個模型相關聯的一種或多種屬性之間的關系來確定所述多個模型中的所述至少一些模型的預測的精度。

9.根據權利要求1所述的方法，其中所述搜索包括確定與所述模型中的每個模型有關的預測的置信水平。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的方法，其中所述基板的所述結構元件的所述一種或多種屬性是通過補償所述基板的所述結構元件的不同位點的SEM圖像的采集的差異而產生的。

11.根據權利要求1至9中任一項所述的方法，其中所述基板的所述結構元件的屬性表示關于所述基板的一組結構元件的信息。

12.根據權利要求11所述的方法，其中所述基板的所述一組結構元件屬于所述基板的單個管芯。

13.根據權利要求1至9中任一項所述的方法，其中所述一種或多種屬性是至少部分地基于關于所述基板的制造工藝的信息而確定的。

14.一種用于確定基板的結構元件的三維(3D)信息的非暫時性計算機可讀介質，所述非暫時性計算機可讀介質存儲指令，所述指令用于：

生成或接收所述基板的所述結構元件的一種或多種屬性，其中所述一種或多種屬性是基于所述結構元件的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像而確定的；

從多個模型中搜索相關模型，所述相關模型被估計為以至少預定精度預測所述基板的所述結構元件的所述3D信息；

當找到所述相關模型時，使用所述相關模型預測所述基板的所述結構元件的所述3D信息；以及

響應于未能找到所述相關模型。

15.一種用于確定基板的結構元件的三維(3D)信息的系統，所述系統包括處理器；

其中所述處理器被配置為：

生成或接收所述基板的所述結構元件的一種或多種屬性，其中所述一種或多種屬性是基于所述結構元件的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像而確定的；

從多個模型中搜索相關模型，所述相關模型被估計為以至少預定精度預測所述基板的所述結構元件的所述3D信息；

當找到所述相關模型時，使用所述相關模型預測所述基板的所述結構元件的所述3D信息；以及

響應于未能找到所述相關模型。

16.根據權利要求15所述的系統，其中所述系統包括成像器，所述成像器被配置為采集所述SEM圖像。