[發明專利]伸縮塊

在審

• 申請號: 202110285995.0
• 申請日: 2021-03-17
• 公開（公告）號: CN113447675A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 望月純
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/073
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

本發明提供一種在檢查部的基片與探針卡之間，與檢查部的基片的翹曲相應地伸縮從而能夠確保電連接的伸縮塊。本發明的伸縮塊包括：導體，其具有：用于與檢查部的基片的端子連接的第1端子；用于與探針卡的端子連接的第2端子；和將上述第1端子與上述第2端子之間連結的彈性地可伸縮的連結部，上述導體在將上述第1端子與上述第2端子連結的方向上可伸縮；以及殼體，其具有：保持上述第1端子的第1保持部；保持上述第2端子的第2保持部；以及能夠供上述連結部插通的引導部，其對上述第1保持部和上述第2保持部以使它們在將上述第1端子與上述第2端子連結的方向上可移動的方式進行引導。

技術領域

本發明涉及一種伸縮塊。

背景技術

專利文獻1公開了一種能夠抑制因伸縮塊框架(pogo frame)和伸縮塊(pogoblock)的熱膨脹差導致的位置偏移的技術。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2020-017713號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

本發明提供一種在檢查部的基片與探針卡之間，與檢查部的基片的翹曲相應地伸縮從而能夠確保電連接的技術。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的一方式提供一種伸縮塊，其包括：導體，其具有：用于與檢查部的基片的端子連接的第1端子；用于與探針卡的端子連接的第2端子；和將上述第1端子與上述第2端子之間連結的彈性地可伸縮的連結部，上述導體在將上述第1端子與上述第2端子連結的方向上可伸縮；以及殼體，其具有：保持上述第1端子的第1保持部；保持上述第2端子的第2保持部；以及能夠供上述連結部插通的引導部，其對上述第1保持部和上述第2保持部以使它們在將上述第1端子與上述第2端子連結的方向上可移動的方式進行引導。

發明效果

依照一個方面，能夠在檢查部的基片與探針卡之間，與檢查部的基片的翹曲相應地伸縮從而能夠確保電連接的技術。

附圖說明

圖1是概要地表示一實施方式的搭載有多個檢查裝置的檢查系統10的一例的立體圖。

圖2是表示設置于檢查室11內的檢查裝置20的概要結構圖。

圖3是表示伸縮塊框架42的平面圖。

圖4是表示伸縮塊42及其周圍的截面構造的圖。

圖5是表示伸縮塊42A、42B、42C與測試器主板31的翹曲相應地伸縮的狀態的圖。

圖6是表示實施方式的變形例的伸縮塊42M的圖。

附圖標記說明

30測試器

31測試器主板

41伸縮塊框架

42伸縮塊

50探針卡

110殼體

120引導部

120A主體部

120B可動部

120C可動部

130保持部

140保持部

150導體

151、152端子

153連結部。

具體實施方式