[發(fā)明專利]超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110285632.7 | 申請日： | 2021-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN112975135A | 公開（公告）日： | 2021-06-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡耀武;劉勝;程佳瑞;何亞麗;黃正 | 申請（專利權）人： | 武漢大學 |
| 主分類號： | B23K26/356 | 分類號： | B23K26/356 |
| 代理公司： | 武漢科皓知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 精細 金屬 三維 納米 結構 激光 沖擊 制備 方法 | ||
1.一種超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
(1)將金屬箔片鋪設在具有納米結構的模板上；
(2)在金屬箔片表面鋪設一層涂有石墨的金屬箔片，然后蓋上透光固體層；
(3)采用脈沖激光第1次垂直沖擊透光固體層后，在金屬箔片表面得到納米壓印圖案；
(4)將壓印有納米結構的金屬箔片鋪設在玻片上；
(5)在壓印有納米結構的金屬箔片表面鋪設一層涂有石墨的金屬箔片、然后蓋上透光固體層；
(6)采用脈沖激光第2次垂直沖擊透光固體層后，直接剝離透光固體層、涂有石墨的金屬箔片，即可在金屬箔片表面得到超精細金屬三維納米結構；或者，
在不破壞結構的前提下，多次沖擊具有納米壓印圖案的金屬箔片，即可在金屬箔片表面得到納米級間隙尺寸的超精細金屬三維納米結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中，金屬箔片為兩面光滑的鋁箔、金箔、銅箔，厚度為1μm-1mm或沉積有大于10nm厚度金屬的箔片中任一種；所述納米結構為條形、圓柱或圓孔結構中任一種。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中，金屬箔片的厚度為1μm-1mm；所述金屬箔片為金箔、銅箔或鋁箔中任一種；所述透光固體層為玻璃，厚度為0.5mm-3cm。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中，所用激光器為納秒、皮秒或飛秒激光器，脈沖寬度小于100ns，激光功率密度大于0.1GW/cm2。
5.根據(jù)權利要求3所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中，所用激光器為納秒、皮秒或飛秒激光器，脈沖寬度小于100ns，激光功率密度大于0.1GW/cm2。
6.根據(jù)權利要求1或2或5所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述步驟(6)中，輸出能量大于1mJ。
7.根據(jù)權利要求6所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中，沉積有大于10nm厚度金屬的箔片即在1μm-1mm厚的鋁箔、金箔或銅箔的表面沉積大于10nm厚的金屬。
8.根據(jù)權利要求7所述的超精細金屬三維納米結構的激光沖擊制備方法，其特征在于：所述沉積的金屬為鋁、金、銀或銅。
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